廣州高測儀器有限公司
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更新時(shí)間：2023-04-06 11:18:19瀏覽次數：347次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)ContourGTInMotion 三維光學(xué)顯微鏡具有*、可靠、全面的表面分析功能，能夠實(shí)時(shí)表征運行中的動(dòng)態(tài)MEMS器件及其他微器件的形態(tài)
ContourGT InMotion 三維光學(xué)顯微鏡具有*、可靠、全面的表面分析功能，能夠實(shí)時(shí)表征運行中的動(dòng)態(tài)MEMS器件及其他微器件的形態(tài)。這種臺式顯微鏡系統運用白光干涉的原理，能夠以非接觸的方式測量激勵狀態(tài)下的MEMS器件表面三維形貌特征，測量范圍從0.1nm到10mm。ContourGT InMotion 將Bruker頻閃技術(shù)與工業(yè)的Vision® 數據采集/分析軟件結合，能夠同時(shí)實(shí)現微器件的靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)分析，測量頻率范圍從11Hz到2.4MHz。ContourGT InMotion融合了靈活的分析，便捷的操作與*的技術(shù)，是表征特征頻率和測量形態(tài)變化、表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸的理想解決方案，有助于提高器件的質(zhì)控水平和產(chǎn)量。
全面的 MEMS測量解決方案
§ 快速、準確、非接觸式的微器件靜態(tài)/動(dòng)態(tài)3D表征
§ 11Hz到2.4MHz超寬測量頻率范圍，完整周期內
全面的器件動(dòng)態(tài)分析頻率、振幅和相位響應表征
§ 縱向分辨率小于1nm
§ 在動(dòng)態(tài)和靜態(tài)模式下準確測量0.1nm至10mm高度范圍內的特征形貌
源自數十年持續的硬件創(chuàng )新
ContourGT InMotion采用Wyko®數十年干涉技術(shù)創(chuàng )新的結晶，為您提供的光學(xué)形貌測量功能和的可靠性。強大的驅動(dòng)電路和簡(jiǎn)潔的桌面式平臺結構實(shí)現了的操作穩定性。
具有技術(shù)的頻閃照明系統能夠實(shí)時(shí)捕獲并測量樣品運動(dòng)周期內的動(dòng)態(tài)變化，測量頻率范圍從11Hz到2.4MHz。最終的測量結果是樣品三維運動(dòng)的慢鏡頭視頻。
此外，您還可以選擇獲得R&D 100大獎的Through Transmissive Media (TTM)模塊。此模塊能夠透過(guò)樣品表面的保護層、氣氛腔及其他色散材料（厚度
專(zhuān)為MEMS設計的軟件
ContourGT InMotion采用Bruker廣受贊譽(yù)的Vision數據采集/分析軟件，使系統的操作和數據的分析非常簡(jiǎn)便、直觀(guān)和靈活?；谀０遄詣?dòng)匹配的SureVision軟件能夠幫助用戶(hù)可靠的定位特征形貌并測量面內和面外的形貌變化。
定制分析軟件能夠迅速便捷的采集并表征特征頻率、形狀/形變、位移、表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸、其他形貌特征以及用戶(hù)自定義的測量參數，具有的精度和準確性。
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