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    合肥瑞生儀器有限公司


    日立掃描電子顯微鏡

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    日立掃描電子顯微鏡

    詳細介紹

    　　低加速電壓下高分辨

    　　3 KV加速電壓下分辨率7 nm，5 KV加速電壓時(shí)背散射電子分辨率可達10 nm

    　　SU3500 采用全新電子光學(xué)系統，圖像質(zhì)量進(jìn)一步提升。全新設計的低球差物鏡和偏壓系統保證低加速電壓下的高發(fā)射束流，所以

    　　二次電子分辨率在 3 KV 是可達 7 nm，背散射電子的分辨率在 5 KV 時(shí)可達 10 nm

    　　減輕荷

    　　減輕荷電掃描模式為：快速多次對一行進(jìn)行掃描取得信號后再掃描下一行，因此，電子束在同一位置的停留時(shí)間得以縮短，比通常的慢掃模式對減輕荷電及電子束損傷更有效。

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