北京英格海德分析技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2023-04-11 11:45:07瀏覽次數：245次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)The HPR-30 is a residual gas analyser configured for analysis of gases and vapours in vacuum processes and for vacuum diagnostics.
HPR-30真空過(guò)程氣體分析系統(Process Gas Analyser)，適用于監測分析殘余氣體和真空工藝過(guò)程中的氣體組成及變化。
·簡(jiǎn)潔的桌上型，移動(dòng)推車(chē)或控制臺架結構
·Direct re-entrant流孔板，差式泵，以達到宜的靈敏度
·軟離子化技術(shù)，分析復雜有機物，或表觀(guān)MS研究
·MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統控制
·氣動(dòng)閥自動(dòng)控制；出現電力不足或壓力過(guò)大等不安全狀況時(shí)可啟用手動(dòng)隔離裝置
·自動(dòng)、同時(shí)數據取得、分析，實(shí)時(shí)顯示、報警
·質(zhì)量數范圍： 1～200 amu(標準配置); 300、510、1000amu可選
·高靈敏度： 5ppb
·取樣壓力： 10-4mbar～1mbar 標準配置
1mbar～30bar 選配
·穩定性好： 24h以上，小于峰高的±0.5%
·過(guò)程控制開(kāi)關(guān)
·信號輸入、輸出接口
Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)
AP0002 - Surface Characteristics of Parylene-C Films in an Inductively Coupled O2/CF4 Gas Plasma (211 KB)
Partial Pressure Control in Reactive Sputtering (343 KB)
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