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    大型等離子清洗機

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    產(chǎn)品說(shuō)明：大型等離子清洗機V1000/1000X/1000XS13.56MH高頻功率輸出，RIE/DP雙工作模式█特征能針對性的制作一些特殊電極，提高生產(chǎn)效率

    詳細介紹

     

    產(chǎn)品說(shuō)明：

    大型等離子清洗機

    V1000/1000X/1000XS

    13.56MH高頻功率輸出，RIE/DP雙工作模式

     

    █特征

    能針對性的制作一些特殊電極，提高生產(chǎn)效率。

    高可靠性RF電源，高精度調諧裝置

    █用途

    *硅晶圓的灰化及蝕刻

    *IC封裝，BGA/CSP基板處理

    *電子半導體零部件和電子材料的干式清洗

    *物體表面氧化物和有機物的去除

    *鍍膜，烤漆前的清洗（增強膜層的附著(zhù)力）

    █電極構造

    █技術(shù)規格

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