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更新時(shí)間:2024-02-19 16:39:12瀏覽次數:147次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)德國Diener PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積設備該PECVD系統可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類(lèi)金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。
德國Diener PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積設備
該PECVD系統可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類(lèi)金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。主要技術(shù)參數:PC控制軟件RF發(fā)生器 0~3000W 脈沖模式腔體防腐處理,400*400*1500mm,240L腔體加熱80℃帶觀(guān)察窗多路工藝氣體通道,MFC控制 防腐處理HMDSO單體通道易燃易爆氣體安全閥Gas Shower氣浴電極設備外尺寸2000*600*1700mm進(jìn)口真空泵組電壓 3項400V
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