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    日本yamato大和等離子清洗機PDC200/PDC210

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準

    產(chǎn)品型號PDC200/PDC210/PDC510

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地

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    更新時(shí)間：2023-08-02 14:55:45瀏覽次數：327次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    日本yamato大和等離子清洗機PDC200/PDC210

    詳細介紹

    日本yamato大和等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510

    研究開(kāi)發(fā)用*適合等離子清洗機

    主要特點(diǎn)：
    RIE模式標配（DP切換為選購）
    等離子的均應性高操作簡(jiǎn)單的液晶觸摸屏控制面

    用途：

    CSB/BGA/COB基板的等離子處理
    有機膜和金屬氧化膜的除去
    印刷電路基板的干洗
    界面活性處理
     

    技術(shù)參數：
    型號
    PDC200
    PDC210
    PDC510
    模式
    RIE模式（DP選配）
    DP模式
    DP/RIE切換方式
    電極構造
    平行平板電極（固定）
    高頻輸出功率
    MAX300W
                       Max 500W
    頻率
    13.56MHz
    控制方式
    自動(dòng)聯(lián)動(dòng)，液晶觸摸屏控制
    反應室尺寸
    400×250×150mm
    500×300×200
    電極尺寸
    250×170mm
    400×200mm
    反應室材質(zhì)
                                            一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對應CF4）
    反應氣體
    2系統（Ar/O2）
    填充氣體
    N2/潔凈干燥空氣
    反應氣體流量控制
    流量計
    聚合控制器
    真空泵
    另行選配
    油回旋真空泵（排氣量345L/min）
    油回旋真空泵（排氣量500L/min）
    氣體導入口
    反應氣體2套，填充氣體1套
    外型尺寸
    540×600×600mm
    540×600×600mm
    700×700×700mm
    電源
    單相AC100V 15A 50/60Hz
                                             三相AC100V 15A 50/60Hz

     


    日本yamato大和等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510

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