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    全自動(dòng)晶圓超掃

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    更新時(shí)間：2023-06-17 12:30:29瀏覽次數：153次

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    聯(lián)系人：潘先生

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    SONOSCAN超聲掃描顯微鏡AW300是一種*的儀器，可根據操作員所選擇的接受/拒收標準，對晶圓進(jìn)行自動(dòng)處理、檢驗和分類(lèi)。

    詳細介紹

    AW300TM

    設備分類(lèi)：生產(chǎn)型

    該系列設備是專(zhuān)門(mén)為粘合晶圓及硅片設計的全自動(dòng)C-SAM系統。
    它容量大，產(chǎn)能高，靈敏度高，通常用來(lái)檢測SOI．MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明的，SONOSCAN利用自己專(zhuān)門(mén)研制的高頻探頭進(jìn)行分析，以獲取更精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米的空洞和薄如200埃的分層。

    特色功能：

    • 全自動(dòng)檢測200/300mm的晶圓
    • SONOSCAN磚利的瀑布式探頭
    • 三個(gè)25片的晶圓匣盒
    • 可選水循環(huán)和給排水模塊
    • 高**定位的機械臂實(shí)現wafer自動(dòng)上下料，將產(chǎn)能擴大化


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