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    ZFH-4熱偶電離真空計

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    ZFH-4復合真空測量?jì)x是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復合真空測量?jì)x，配用ZJ-54D熱偶規管及ZJ-2或ZJ-27真空電離規管，能測量267～10-6Pa之間的真空度。

    詳細介紹

    1.  緒論
    ZFH-4復合真空測量?jì)x是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復合真空測量?jì)x，配用ZJ-54D熱偶規管及ZJ-2或ZJ-27真空電離規管，能測量267～10-6Pa之間的真空度。
    由于在儀器中引入了單片微機，ZFH-4復合真空測量?jì)x具有許多**性能：
     采用單片微機進(jìn)行數據處理，真空度讀數數字顯示，測量結果直觀(guān)、明確、讀數方便。
     電離規管的除氣可以自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行。
     量程自動(dòng)切換。當真空度下降，**出電離規管測量范圍時(shí)，儀器可以自動(dòng)停止電離部分工作，顯示熱偶部分測量數據。當真空度提高時(shí)，則可自動(dòng)啟動(dòng)電離部分工作。采用帶有反饋環(huán)節的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數字設定，簡(jiǎn)單、方便、直觀(guān)、準確。
     真空度單位自動(dòng)轉換。
     具有多種測量顯示模式，顯示方式靈活多樣。
     帶有三個(gè)繼電器觸點(diǎn)，動(dòng)作真空度可以數字設定。
     當真空度高于10-2Pa時(shí)，可以自動(dòng)標定熱偶規管的加熱電流。
     儀器帶有RS-232和RS-485串行數據通訊接口，與上位計算機通訊方便。
     由于采用單片微機作為儀器的控制單元。ZFH-4復合真空測量?jì)x除了上述特點(diǎn)外，它的另一個(gè)顯著(zhù)特點(diǎn)是軟件可修改性強，可以在基本不動(dòng)或少動(dòng)儀器硬件結構的情況下，修改儀器功 能，創(chuàng )造出功能全新的儀器。
    2. .主要技術(shù)條件：
    2.1 熱偶部分:
    2.1.1 真空度測量范圍：  101Kpa～0.1Pa
         測量誤差： <±20%（267～1Pa）
    2.1.2 加熱電流調節范圍： 30mA±2.4mA 由數字設定
              調節精度：　　 <±0.5%±2字
    2.1.3 配用規管:  ZJ-54D 熱偶規管
    2.2 電離部分：
    2.2.1 真空度測量范圍： 1～6.7X10-6Pa
         測量誤差： ±20%
    2.2.2 電離規管發(fā)射電流： 5mA±3%(10-1～10-6 Pa)
        100μA±3%(1～0.1Pa)
    2.2.3 柵極電壓： 225V±1%
    2.2.4 自動(dòng)除氣啟動(dòng)真空度： 10-3Pa
    2.2.5 自動(dòng)除氣時(shí)間： 10分鐘
    2.2.6 配用規管：  ZJ-2或ZJ-27
    2.3 控制觸點(diǎn)：
    2.3.1 控制觸點(diǎn)數：      　 3
    2.3.2 控制觸點(diǎn)容量： 交流 220V/1A
    2.4 使用環(huán)境：
    2.4.1 環(huán)境溫度：  +5～35度
    2.4.2 相對濕度：  <85%(25度 )

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