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    MCY2005壓阻真空計

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    壓阻真空測量?jì)x是單片微機控制的智能儀器,采用不同量程的壓阻真空規管,用于測量101~0.01KPa

    詳細介紹

     

        MCY2005  壓阻真空測量?jì)x是單片微機控制的智能儀器,采用不同量程的壓阻真空規管,用于測量1010.01KPa。由于壓阻規管輸出電壓是真空度的線(xiàn)性函數,因此在上述范圍內,其測量精度和線(xiàn)性度很好,而且規管結構牢靠,使用**長(cháng),是比較理想的粗低真空測量?jì)x器。特別值得一提的是這種規管還可以作為壓力傳感器使用,對于需要真空度、壓力連續測量的場(chǎng)合極為適用。

    1 . 主要技術(shù)指標:

    1.1  測量范圍:                 1010.01KPa

                                                   1000.1KPa ±5‰±1(滿(mǎn)度誤差)

    1.2  配用規管:                 YZG-15A壓阻規管

    1.3  電源電壓:                 交流220V   50Hz

    1.4  使用環(huán)境:                 5 - 30   濕度 < 80%

    1.5  外形尺寸:                96×96×140mm

              開(kāi)孔尺寸:        92×92mm2

    2.工作原理和使用方法 :

    2.1  工作原理:

    壓阻真空規管是利用單晶硅的壓阻效應制成的一種力敏器件。它以單晶硅為基體,按特定晶面,根據不同的受力形式分別加工成彈性應變元件,在彈性應變元件的適當位置,用集成電路工藝技術(shù)擴散四個(gè)等值電阻,組成惠斯登電橋。當不受壓力作用時(shí),電橋處于平衡狀態(tài);當受到壓力作用時(shí),一對橋臂電阻變大,另一對變小,電橋失去平衡。若對電橋加一恒定電流(電壓),便輸出對應于所加壓力的電壓信號,從而達到測量氣體壓力的目的。

    由于這種傳感器的感受、**和檢測三部分同由一個(gè)元件實(shí)現,沒(méi)有中間轉換環(huán)節,所以不重復性和遲滯等誤差極小。同時(shí)由于硅單晶本身剛度很大,形變很小,保證了良好的線(xiàn)性度,因此綜合精度**。

    本儀器配套的YZ、YZG系采用美國**的OEM管芯組裝。YZ型壓阻規管系普通型絕壓管芯,YZG型壓阻規管系帶隔離膜封裝的絕壓管芯,用于有腐蝕性氣體及要求比較高的場(chǎng)合。

    本儀器提供了壓阻真空規管工作所**須的恒流源,并接收規管送出的壓力信號。所有的調零、調滿(mǎn)度等均由軟件完成,并且用軟件對規管電流源的微小變化進(jìn)行補償,擴大了規管的測量范圍。使用**方便。

    儀器前面板如圖一所示:

     

    1.儀器前面板示意圖

    圖中:

    1. 顯示器:    用于顯示真空度數值,恒流電流值,輸出電壓值。

    2. 單位指示燈

    3. 增量按鈕

    4. 移位按鈕

    5. 減量按鈕

    6. 確認按鈕

    2.2 儀器使用方法:

    2.2.1 正常顯示方式:

    開(kāi)啟儀器后,儀器顯示真空度。單位是KPa。按動(dòng)移位按鈕可改變真空度的單位,相應的單位指示燈亮。

    按組合鍵1(按[ENT鍵]后放手,再按[減量鍵]),可使儀器顯示輸出電壓值,單位為mV。再按一次這組鍵,可以使儀器顯示規管恒流電流值。第三次按這組鍵則返回真空度。

    2.2.2 設置控制觸點(diǎn)動(dòng)作真空度的方法:

    按組合鍵2按[ENT鍵]后放手,再按[增量鍵]),顯示器左端顯示“1",表示此后將顯示控制觸點(diǎn)1的動(dòng)作真空度。數秒鐘后,顯示器顯示原先設定的值。**高位作有規律的閃爍。如果顯示的動(dòng)作真空度數量級不正確,則首先應調整數量級。連續按增量鍵數次,**高位由9進(jìn)位時(shí),設定的動(dòng)作真空度數量級加一。重復這一過(guò)程,數量級不斷增加,直到100kPa.

    按減量鍵數次,當**高位由1退位時(shí),設定的動(dòng)作真空度數量級減一,重復這一過(guò)程,數量級不斷減少,直到0.1Pa數量級。

    數量級調整完畢后,**整設定的動(dòng)作真空度的各位。顯示器上不斷閃爍的這一位可以改變。按動(dòng)增量鍵可執行加一操作,按動(dòng)減量鍵可執行減一操作。按動(dòng)移位鍵可以使下一位閃爍。修改完畢后**要按ENT鍵一次,把它送入儀器內部保存。

    ENT鍵后,設定的控制觸點(diǎn)1的動(dòng)作真空度將保存在儀器內部。

    這時(shí)顯示器左端顯示“2",表示此后將顯示控制觸點(diǎn)2的動(dòng)作真空度??梢园凑照{整控制觸點(diǎn)1的動(dòng)作真空度的方法進(jìn)行調整。

    2.2.3 校準規管高真空時(shí)的零點(diǎn)的方法:

    儀器初次使用或**換新規管或當規管封接于高真空環(huán)境時(shí),儀器顯示不為零,或者儀器的顯示發(fā)生閃爍,說(shuō)明儀器需要校零。

    當規管封接于高真空環(huán)境時(shí),若真空度優(yōu)于1Pa,可以校準規管的零點(diǎn)。方法是:開(kāi)機穩定半小時(shí)后,按組合鍵3(按[ENT鍵]后放手,再按[移位鍵]后放手)三次。儀器顯示“CAL0"。等待數秒后,“CAL0"開(kāi)始閃爍,此時(shí)按下“ENT"鍵,儀器自動(dòng)校準零點(diǎn)。如不需校準零點(diǎn)或錯誤進(jìn)入了校零模式,操作者可不用按**鍵,“CAL0"閃爍數秒后,會(huì )自動(dòng)回到測量顯示模式。

    2.2.4 校準規管滿(mǎn)度的方法:

    一般不需校準儀器的滿(mǎn)度。儀器初次使用或儀器偏離滿(mǎn)度過(guò)多或**換新規管后,可校準儀器滿(mǎn)度。當系統暴露**時(shí)(對于YZ2、YZG2壓阻規管),或者規管處于35Kpa 的真空度中(對于YZ3、YZG3壓阻規管),確認規管聯(lián)接無(wú)誤。開(kāi)機穩定半小時(shí)后,按組合鍵3(按[ENT鍵]后放手,再按[移位鍵]后放手)三次,儀器進(jìn)入校零模式。在儀器顯示閃爍以前,按下除“ENT"鍵以外的任一鍵,儀器顯示“FILL",幾秒后儀器進(jìn)入設定滿(mǎn)度狀態(tài)。根據所處地區**壓,手工設定,操作方法同2.2.2。設定完后,按下“ENT"鍵。儀器完成滿(mǎn)度校準。顯示為101kPa,或者35KPa。**須注意,對儀器設定和校準滿(mǎn)度時(shí),**須確認規管處于該規管的滿(mǎn)度壓強下,否則將嚴重影響儀器的測量精度。

    3. 儀器電源及規管聯(lián)接

    儀器電纜與機箱聯(lián)接采用接線(xiàn)柱聯(lián)接。儀器后面板接線(xiàn)柱排列如圖2所示:

    2. 儀器后面板示意圖

    圖中:

    25L):                               接電源相線(xiàn)

    24N):                              接電源零線(xiàn)

    23GND):                              接電源地線(xiàn)

    CX164FG                           壓阻規管插座

    2217                                   J1、J2繼電器輸出端

    4.規管聯(lián)接要求:

    一般情況下,規管應垂直或水平安裝。安裝后一般不要轉動(dòng)或變動(dòng)規管位置。

    5. 維護、儲存和運輸

    5.1 本設備在使用過(guò)程中**須正確操作和維護,并防止灰塵與潮氣侵入。

    5.2 在長(cháng)期使用后應作內部檢查,**內部所積塵污。

    5.3 設備應存放在環(huán)境溫度為+1035 ℃,相對濕度<80%和無(wú)腐蝕性氣體及油蒸汽, 強烈電磁場(chǎng)與機械振動(dòng),并具有良好通風(fēng)的室內。

    5.4 運輸時(shí)設備應裝在具有防潮袋的牢固運輸箱內,包裝好的設備與箱壁間應放有清潔干燥的防振物,運輸箱外應標有"向上","小心輕放"等標記。

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