上海唯科電氣有限公司
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更新時(shí)間：2023-07-31 12:49:13瀏覽次數：170次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)本儀器采用單相三線(xiàn)制電源。地線(xiàn)**須與大地相接，不能接零線(xiàn)（N線(xiàn)）。
1. 用途及使用范圍
本儀器用于測量260～10－8Pa范圍的真空度。熱偶部分測量范圍為260～10－1Pa。BA規部分真空度測量范圍為10－1～10－8Pa。
2. 主要技術(shù)指標：
2.1 熱偶部分：
2.1.1 真空度測量范圍 260～10－1Pa
2.1.2 加熱電流： 30mA±2.4mA
2.1.3 配用規管： ZJ—54D熱偶規管
2.2 電離部分：
2.2.1 真空度測量范圍： 10－1～10－8Pa
2.2.2 加速電壓： 250V± 2%
2.2.3 陰極電壓： 100V± 2%
2.2.4 發(fā)射電流： 1mA ( 10－1～10－7Pa)
10mA(10－8Pa)
2.2.5 微電流放大器測量誤差： <5%
2.2.6 除氣方式： 轟擊除氣，功率≤60W
2.2.7 配用規管： ZJ—6
2.3 儀器使用條件：
2.3.1 工作電源： 交流220V±5% 50Hz
2.3.2 環(huán)境溫度： 0 ～35℃
2.3.3 相對濕度： <80%(25℃)
2.3.4 工作環(huán)境內應無(wú)強烈機械振動(dòng)和外加磁場(chǎng)。
3 結構原理
本儀器由二大部分組成：
3.1 熱偶部分
熱偶部分是根據氣體熱傳導在低真空條件下與氣體壓強有關(guān)的原理工作的，在熱偶規管內封裝了一根用于加熱的電阻絲及一對熱偶。測量時(shí)，一般是以一恒定電流去加熱電熱絲。由于在不同真空度條件下，加熱絲通過(guò)氣體傳遞的熱量不同，所以電阻絲上的溫度是真空度的函數，這樣，熱電偶輸出的熱電勢也是真空度的函數。測量電路由加熱電流穩定電路和熱偶電勢測量電路組成。前者送出一恒定電流到規管加熱絲，后者測量規管送出的熱偶電勢，放大器輸出電壓由表頭指示即可讀得真空度的數值
3.2 電離部分
該部分由穩發(fā)射電流電路，加速極電壓穩定電路，微電流放大電路以及規管除氣電源，規管保護電路5部分組成。其原理框圖如圖一所示
圖1。 電離部分原理框圖
該部分電路提供了BA規工作所**須的電源及離子流測量電路
儀器前面板如圖二所示
圖2 儀器前面板示意圖
圖中：
1. 加熱電流調節旋鈕。
2. 除氣電流調節旋鈕
3. 熱偶部分顯示表頭
4. 電離部分顯示表頭
5. 測量倍率選擇旋鈕
6. 總電源開(kāi)關(guān)
7. 熱偶加熱電流—真空度顯示轉換開(kāi)關(guān)
8. 電離部分除氣開(kāi)關(guān)
9. 電離部分電源開(kāi)關(guān)
儀器后面板如圖三所示
圖3. 儀器后面板示意圖
圖中
1. 電離規管聯(lián)接電纜插座熱偶
2. 收集極插座
3. 熱偶規管聯(lián)接電纜插座
4. 電源插座
4 使用方法
4.1 規管安裝
將規管封接于真空系統。電離規管應垂直安裝。如因安裝位置影響不能垂直安裝則規管燈絲平面應與重力方向平行。
4.2 熱偶部分使用方法
4.2.1加熱電流調節——調整加熱電流有二種方法：
4.2.1.1 按規管給出的電流調節：
按住面板上的熱偶加熱電流—真空度顯示轉換開(kāi)關(guān)，調節“加熱電流調節"旋鈕使電流為規管給定的電流。
4.2.1.2 調高真空時(shí)的滿(mǎn)度值：
將規管抽**<10-2Pa高真空，調節面板上的“加熱電流調節"旋鈕，使表頭指針指向滿(mǎn)度。再按下熱偶加熱電流—真空度顯示轉換開(kāi)關(guān)，此時(shí)電表指示值即為加熱電流值。
一般情況下，加熱電流為30mA 左右。工作時(shí)若需了解儀器工作情況，可按下電流—測量開(kāi)關(guān)，如該值為30mA±1.5mA則視為正常。
4.2.2 真空度測量
將規管與儀器聯(lián)接好后，電源開(kāi)啟后，表頭指示即為真空度。
4.3 電離部分使用方法
本儀器發(fā)射電流及放大器的零點(diǎn)及滿(mǎn)度出廠(chǎng)時(shí)均已調整完畢，用戶(hù)使用時(shí)不需調整，使用極為方便。
4.3.1 測量真空度：
開(kāi)機后可將電離規管離子流測量倍率選擇開(kāi)關(guān)撥向發(fā)射電流檔，觀(guān)察表頭應指向中間紅線(xiàn)附近。然后選擇合適的測量倍率，表頭上指示的即為真空度數值。
4.3.2 規管除氣
當真空度優(yōu)于10－3Pa時(shí)，可根據需要對規管除氣。具體步驟如下：
4.3.2.1 將電離部分測量倍率開(kāi)關(guān)拔向“發(fā)射電流"檔；
4.3.2.2 把“除氣電流調節"旋鈕按逆時(shí)針?lè )较蛐降祝?span>
4.3.2.3 按下除氣開(kāi)關(guān)，除氣開(kāi)關(guān)指示燈亮；
4.3.2.4 緩慢旋轉“除氣電流調節"旋鈕，觀(guān)察加速極轟擊**暗紅為止。電流一般在60mA左右(表頭指示在30mA，即60%左右，除氣時(shí)表頭滿(mǎn)度為100mA），**大不要**過(guò)80mA(表頭指示在40mA，即80%左右)。注意掌握除氣時(shí)間，防止規管暴裂(一般2～3分鐘，時(shí)間不夠可以多次除氣)。
停止除氣時(shí)應先把“除氣電流調節"旋鈕按逆時(shí)針?lè )较蛐降?，再次按下除氣開(kāi)關(guān)，除氣開(kāi)關(guān)指示燈滅，然后再把測量倍率開(kāi)關(guān)拔向合適的量程檔。
4.4 電離部分過(guò)量程保護
當離子流大于滿(mǎn)量程離子流4倍時(shí)，儀器自動(dòng)切斷電離部分電源。重新啟動(dòng)前應首先檢查量程選擇是否合適。然后開(kāi)、關(guān)電離開(kāi)關(guān)一次，儀器恢復正常工作。
5 儀器成套性
5.1 FH－2復合**高真空測量?jì)x 一臺
5.2 ZJ —54D 熱偶規管 一支
5.3 ZJ—6電離規管 一支
5.4 規管電纜線(xiàn) 三根
5.5 電源線(xiàn) 一根
6 維護、儲存和運輸
6.1 本設備在使用過(guò)程中**須正確操作和維護，并防止灰塵與潮氣侵入
6.2 在長(cháng)期使用后應作內部檢查，**內部所積塵污。
6.3 設備應存放在環(huán)境溫度為+10～35 ℃，相對濕度<80%和無(wú)腐蝕性氣體及油蒸汽，無(wú)強烈電磁場(chǎng)與機械振動(dòng)，并具有良好通風(fēng)的室內。
6.4 運輸時(shí)設備應裝在具有防潮袋的牢固運輸箱內，包裝好的設備與箱壁間應放有清潔干燥的防振物，運輸箱外應標有“向上"，“小心輕放"等標記。
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