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    青島大一隔振設備有限公司


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    DVIA-MO主動(dòng)隔振光學(xué)平臺

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    DVIA-MO主動(dòng)隔振光學(xué)平臺光學(xué)面包板和DVIA-M有源隔振器的結合創(chuàng )造出了的混合有源光學(xué)平臺,為高分辨率光譜學(xué),顯微鏡和精密納米結構研究和制造等挑戰性的應用提供了優(yōu)異的振動(dòng)隔離,使建筑振動(dòng)降至10Hz以下

    詳細介紹


    DVIA-MO主動(dòng)隔振光學(xué)平臺


    光學(xué)面包板和DVIA-M有源隔振器的結合創(chuàng )造出了的混合有源光學(xué)平臺,為高分辨率光譜學(xué),顯微鏡和精密納米結構研究和制造等挑戰性的應用提供了優(yōu)異的振動(dòng)隔離,使建筑振動(dòng)降至10Hz以下。


    的主動(dòng)隔振器

    DVIA-MO由四個(gè)主動(dòng)隔振器組成。 無(wú)源和有源系統的元件被納入有源隔離器; 傳感器和執行器安裝在隔離器中,減少1-10 Hz的振動(dòng),同時(shí)無(wú)源隔離系統支持大量有效負載,并在高頻范圍內提供隔振。



    主動(dòng)隔離系統的諧振頻率比無(wú)源隔離系統低得多。 如上圖所示,主動(dòng)系統在1-10Hz范圍內的振動(dòng)控制非常出色,被動(dòng)系統放大低頻振動(dòng)而不是過(guò)濾振動(dòng)。 DVIA-MB在精密儀器趨于不穩定和破壞性的低頻振動(dòng)中隔離超精密儀器非常有效。 主動(dòng)隔振開(kāi)始于0.5Hz,DVIA-MB在5Hz時(shí)達到95%,在10Hz時(shí)達到99%。



    反饋和前饋算法



    DVIA系列使用反饋控制系統連續檢測干擾隔離有效負載基座的振動(dòng),并即時(shí)作出反應,限度地減少實(shí)時(shí)振動(dòng)。 DVIA系列采用前饋系統,以預定義的方式過(guò)濾地板振動(dòng)。



    控制所有六個(gè)自由度的振動(dòng)

    安裝在主動(dòng)隔振系統中的慣性傳感器和VCM執行器通過(guò)三個(gè)平移運動(dòng)(X,Y和Z)以及三個(gè)旋轉運動(dòng)(俯仰,滾轉和偏航)來(lái)檢測和控制振動(dòng)。

    每個(gè)安裝地點(diǎn)都有不同的振動(dòng)級別,表明每個(gè)安裝地點(diǎn)都需要調整。 因此,我們提供現場(chǎng)調試,以有效地利用反饋和前饋控制系統,這是控制1-10 Hz范圍振動(dòng)的關(guān)鍵因素。 沒(méi)有調整,主動(dòng)隔離系統不能提供的主動(dòng)隔離性能。



    0.25毫米厚的蜂窩鋼層波紋,以增加其核心密度和最小化其單元尺寸; 這些波紋蜂窩鋼層垂直環(huán)氧樹(shù)脂結合不銹鋼頂部表皮,碳鋼底部皮膚和側壁,以提供靜態(tài)和動(dòng)態(tài)剛性,以的性能水平。


    我們的蜂窩芯產(chǎn)生的芯密度和最小的蜂窩孔尺寸3.2?,提供了光學(xué)平臺的顯著(zhù)的剛性。 作為有助于增加彈性選擇模量的最小的蜂窩單元,光學(xué)頂端的固有頻率增加。 由于我們的光學(xué)陀螺具有較高的固有頻率,減少了環(huán)境振動(dòng),阻礙了外力的產(chǎn)生,因此隔振系統是有效的。 此外,較高的固有頻率使負載下的振動(dòng)強度和偏轉最小化,這對于進(jìn)行光學(xué)實(shí)驗是關(guān)鍵的。


    單獨的尼龍杯在每個(gè)安裝孔下面都是環(huán)氧樹(shù)脂結合的,以防止發(fā)生化學(xué)或外來(lái)物質(zhì)溢出到蜂窩芯中。

    我們精心地研磨光學(xué)頂面,以提供干凈,無(wú)眩光的工作表面。M6安裝孔位于25毫米的中心,用戶(hù)可將其應用安裝在光學(xué)平臺上。


    性能

    設計光學(xué)頂端的主要目標是盡可能地構建光學(xué)頂端,DAEIL SYSTEMS自豪地堅持我們的蜂窩光學(xué)頂端滿(mǎn)足客戶(hù)。 我們的超級剛性光學(xué)頂部通過(guò)結構阻尼(蜂窩結構)減少相對運動(dòng); 因此,蜂窩結構增加了光學(xué)頂端的固有頻率,有效地抵抗了偏轉并且使通過(guò)隔振的剩余振動(dòng)最小化。
    DAEIL光學(xué)陀螺的性能由柔量曲線(xiàn)測量。 柔量曲線(xiàn)指示光學(xué)頂端如何剛性地減弱靜態(tài)力(應用的增加或移動(dòng))和動(dòng)態(tài)力(環(huán)境振動(dòng))。 由于柔順曲線(xiàn)與光學(xué)性能水平密切相關(guān),DAEIL光學(xué)頂部確保了圖表所示的順應性水平。



    DVIA-M隔離器的規格

    光學(xué)頂端通用規格

    芯鋼蜂窩芯結構,0.25mm(1in。)厚箔
    芯體尺寸3.2?(0.5in2)
    核心剪切模量19339kgf / cm2(275,000psi)
    表面平整度在600mm2(2 ft。)以上±0.1mm(±0.004 in。)
    頂部皮膚430系列鐵磁性不銹鋼4.0mm厚
    底部4.5mm厚的碳鋼板
    側墻2.0毫米厚的碳鋼板與阻尼復合木材
    安裝孔M6-1.0(1 / 4-20)
    安裝孔柵格25毫米(1英寸)柵格
    安裝孔邊界37.5mm(1.5英寸)
    安裝孔密封深度21mm清潔圓柱形杯子,耐化學(xué)品的尼龍66材料
    阻尼方法寬帶阻尼
    相對運動(dòng)1.2 x 10 ^ -10mm(2400 x 1200 x 300 mm)
    負載下的撓度1.1 x 10 ^ -5mm(2400 x 1200 x 300 mm)

    動(dòng)態(tài)2.1 x 10 ^ -5(2400 x 1200 x 300毫米)
    偏轉系數

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