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    反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

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    反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

    詳細介紹

    • 概要
    • 規格

    概要

    EC-5000系列產(chǎn)品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應室的壓力值始終穩定在客戶(hù)要求的設定范圍。高分辨度的步進(jìn)式馬達和蝶形閥設計確保了本產(chǎn)品的高速、高分辨度響應。

    特征

    •  適合高真空環(huán)境使用：不銹鋼質(zhì)本體
    • 抗腐蝕

       

    • 使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供

       

    • 適合對于腐蝕性氣體的使用

       

      •  

    當排氣端流量被調整到的位置：

    • 抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的

       

    • 阻止了噴霧的次級沉積

       

    • 阻止了危險水蒸氣的擴散

      此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產(chǎn)品造成的影響更小

      此產(chǎn)品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業(yè)前，必需從日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的相關(guān)部門(mén)獲得出口許可證件。

    規格

    Model                   EC-

    5104

    5105

    5202

    Compatible size

    NW40

    NW50

    25 mm PTFE fitting

    1 inch PTFE fitting

    Materials at gas contact area

    SUS316L, Fluoro rubber

    PTFE, PEEK, Fluoro rubber

    Conductance
    (in vacuum area)

    0.4 to 80L/s

    0.6 to 200L/s

    ——

    Outflow at 100 mm H2O
    (fully closed)

    20L/min

    25L/min

    3L/min

    * This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.

    產(chǎn)品相關(guān)圖及其它

    反應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列

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