沈陽(yáng)和研科技有限公司
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更新時(shí)間:2023-10-13 10:33:26瀏覽次數:226次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)MT80 68手動(dòng)減薄貼膜機; MT120 12手動(dòng)減薄貼膜機; MT82 68自動(dòng)減薄貼膜機; MT122 12自動(dòng)減薄貼膜機;
型號 | MT80 | MT120 | MT82 | MT112 |
工件尺寸 | 6″&8″ | 12″ | 6″&8″ | 12″ |
晶圓厚度 | 500-1000μm | 500-1000μm | 300-750μm | 300-750μm |
膜類(lèi)型 | 藍膜&UV膜 | |||
膜厚度 | 0.05-0.2mm | |||
膜長(cháng)度 | ≦100m | |||
膜寬度 | 220-250mm | 240-350mm | 220-250mm | 240-350mm |
工作臺 | 防靜電特氟龍處理 | |||
加熱溫度 | 室溫-150℃ | |||
效率 | 80片/小時(shí) | 75片/小時(shí) | 75片/小時(shí) | 70片/小時(shí) |
供氣 | 0.5Mpa潔凈干燥壓縮空氣 | |||
供電 | AC220V,10A | AC220V,10A | AC220V,16A | AC220V,16A |
外形尺寸 W*D*H | 390mm*770mm*610mm | 480mm*850mm*610mm | 650mm*880mm*500mm | 600mm*960mm*500mm |
重量 | 50kg | 60kg | 75kg | 90kg |
功能介紹:
1、MT80&MT120
*的防靜電滾輪貼膜;
手動(dòng)拉膜及貼膜;
手動(dòng)晶圓上下料;
晶圓邊沿無(wú)飛邊切割技術(shù);
結構合理?yè)Q刀方便;
工作臺浮動(dòng)設計,高度可調;
離型膜自動(dòng)纏繞回收;
可根據需求做定制化;
2、MT82&MT122
*的防靜電滾輪貼膜;
防靜電離子風(fēng)機;
自動(dòng)膠膜傳送及貼覆;
貼膜壓力及速度均可調;
手動(dòng)晶圓上下料;
晶圓邊沿無(wú)飛邊切割技術(shù);
基于PLC程序控制;
可根據需求做定制化;
適用于半導體晶圓減薄制程中的貼膜工藝。
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