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    手動(dòng)減?。˙G）貼膜機

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    本機適用范圍BG系列是專(zhuān)門(mén)用于晶圓研磨前的貼膜工序;適用保護膜可兼容藍膜、UV膜、PET襯底膜及其它單/雙層膜

    詳細介紹

    本機適用范圍
    BG系列是專(zhuān)門(mén)用于晶圓研磨前的貼膜工序;
    適用保護膜可兼容藍膜、UV膜、PET 襯底膜及其它單/雙層膜。
     

           本機特點(diǎn)

    •  本設備采用精密導軌，進(jìn)口溫控系統，使機器整體性能穩定，操作方便高效。
    • 防靜電特氟龍處理的工作盤(pán)、防靜電滾輪材質(zhì)、去靜電離子風(fēng)棒三重防護可有效防止芯片受到靜電損傷。
    • 工作盤(pán)具有加熱功能，使膜的粘著(zhù)力更強。
    • 滾輪的壓力可通過(guò)調節氣壓調節、恒定可控，貼膜更平整。
    • 配備圓周刀和橫切刀，采用進(jìn)口刀片，壽命更長(cháng)。
    • 無(wú)需更換工作盤(pán)，通過(guò)旋鈕開(kāi)關(guān)即可轉換不同尺寸產(chǎn)品的貼膜。
    • 圓周刀具有加熱功能，能夠更好的割膜。
    • 上翻蓋有液壓彈簧支撐，操作省力，安全。
    • 客戶(hù)可選配手動(dòng)揭膜功能，作為手動(dòng)揭膜臺用 

     

    與同類(lèi)設備優(yōu)勢
    采用電子方式控制貼膜滾輪的壓緊和松開(kāi)，比傳統行程開(kāi)關(guān)控制更可靠，壽命更長(cháng)。
    隱藏的膜預張緊結構，可使貼膜更平整，無(wú)氣泡。
    圓切割刀切割方式改進(jìn)，增加了氣動(dòng)裝置控制割刀位置，保證了切割始終貼著(zhù)硅片邊緣，尤其解決了帶直邊硅片切割不凈的弊端。

    規格參數

    型號 WM - 100 WM -200 WM-3 00 備注
    適用產(chǎn)品尺寸(Inch) 6 8  12 可定制特殊品
    應膜的種類(lèi) UV膜、藍膜 UV膜、藍膜 UV膜、藍膜 選配
    臺盤(pán)加熱范圍(°C) 室溫~80 室溫~80 室溫~80  
    機器尺寸(mm) 400*850*350 430* 850*350 900*1000* 600  
    電源(V) 單相AC 220 單相AC 220 單相AC 220 可定制AC100V
    壓縮空氣(MPa) 0.5~0.8 0.5~0.8  0.5~0.8  
    設備重量(KG) 90 90 120  

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