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    生產(chǎn)型等離子清洗機TETRA 150

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海市

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    生產(chǎn)型等離子清洗機TETRA 150 產(chǎn)品說(shuō)明: 150L的生產(chǎn)型等離子清洗機TETRA 150可滿(mǎn)足不同的生產(chǎn)需求,可組成和不同的生產(chǎn)模塊系統,接受客戶(hù)定制。 應用領(lǐng)域: 主要應用領(lǐng)域有:考古 汽車(chē) 生物技術(shù) 彈性體技術(shù) 電子技術(shù) 電子顯微鏡 精密工程 研究和開(kāi)發(fā) 半導體技術(shù) 小批量生產(chǎn) 塑料技術(shù) 醫療技術(shù) 微系統技術(shù) 太陽(yáng)能電池技術(shù) 紡織技術(shù) 。 在線(xiàn)咨詢(xún)

    詳細介紹

      設備:生產(chǎn)型等離子清洗機TETRA 150
      銷(xiāo)售:
      產(chǎn)品功能:

      清洗: 工藝部件的表面通過(guò)離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出。如:去除有機污染物,去除納米級微粒,去除氧化層。

      活化:工藝部件表面通過(guò)氧氣或空氣處理后,會(huì )在表面形成氧原子團,這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著(zhù)于上,提高其的粘合力和附著(zhù)力。
      如:PDMS鍵合,粘接前的預處理,涂裝前的預處理,印刷前的預處理。

      蝕刻:工藝部件表面通過(guò)特定氣體達到精確濺射,表面材料被剝離,轉變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤,也使材料表面更粗糙化。通過(guò)改變工藝參數可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。


      涂層:使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應,前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發(fā)生聚合反應,形成聚合物層。如:疏水層,親水層,保護/阻隔層,干潤滑層,疏油層。

       

       

      主要技術(shù)參數1. 便捷的FULL PC觸摸屏控制系統
      2. 根據工藝要求不同,可設定功率、壓強、氣體流量與時(shí)間等參數
      3.  三路工作氣體(可通多種氣體O2、N2,Ar),氣體流量通過(guò)數字式流量計(MFC)控制
      4. *反應艙為不銹鋼制,L400xD625xH600mm ,容積為150L
      5. 反應艙門(mén)鋁制,帶有玻璃觀(guān)察窗
      6.    樣品托盤(pán):十層,W340*D580mm/層
      7. 配有Pirani壓力計,實(shí)時(shí)數字顯示反應艙的壓力值
      8. 高周波電流頻率13.56MHz功率0~600W (或者0~1000W)
      9. 反射波自動(dòng)調節,無(wú)須手工調節
      10. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
      11. 真空泵為L(cháng)eybold D65B LVO 100,排氣速度65m3/hour,配有氧氣強制進(jìn)氣閥
      12. 配有壓力傳感器,可根據工藝要求設定壓力值
      13. 600mm(L)*800mm(D)*1700mm(H)(含電源線(xiàn)突出部分)
      14. 電源電壓:三項AC400V 32A

      選配:
      控制系統: PCCE全自動(dòng)控制/PC全自動(dòng)控制。

       
      氣體:
      多路氣體
       
      腔體:
      矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(mén)(約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm)矩形鋁制腔室(約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm)     托盤(pán):石英玻璃舟皿/粉末轉鼓/散裝件轉鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英/水冷型
       
      電極:
      單層或多層/帶氣體噴淋裝置的 RIE 電極
       
      壓力測量:
      Pirani/電容式壓力計 (適用于腐蝕性氣體版本)
       
      發(fā)生器:
      80 kHz:0- 1000 / 3000 W 13.56 MHz: 0 - 300 W/600 W/ 1000 W 2.45 GHz: 0 - 1200 W
       
      其他:
      ......

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