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    行業(yè)產(chǎn)品

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    昆山琦凡精密儀器有限公司


    真空等離子清洗機

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    產(chǎn)品型號半導體SPA-100

    品       牌

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    更新時(shí)間:2023-12-27 16:25:21瀏覽次數:197次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    簡(jiǎn)要描述:真空等離子清洗機的作用原理主要是:等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì )產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

    詳細介紹

    品牌自營(yíng)品牌產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
    應用領(lǐng)域醫療衛生,環(huán)保,化工,電子

    (1)SPV100真空等離子清洗機產(chǎn)品簡(jiǎn)述

    (1.1)等離子清洗的作用

    等離子清洗的作用原理主要是:

    (A)對材料表面的刻蝕作用--物理作用

    等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì )產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

    (B)激活鍵能,交聯(lián)作用SPV100真空等離子清洗機

    等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結構,大大地激活了表面活性。

    (C)形成新的官能團--化學(xué)作用

    如果放電氣體中引入反應性氣體,那么在活化的材料表面會(huì )發(fā)生復雜的化學(xué)反應,引入新的官能團,如烴基、氨基、羧基等,這些官能團都是活性基團,能明顯提高材料表面活性。

     

    (1.2)真空等離子清洗的優(yōu)勢

    等離子清洗作為重要的材料表面改性方法,已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用。

    與傳統的一些清洗方法,如超聲波清洗、UV清洗等,以下優(yōu)點(diǎn):

    (A)處理溫度低

    處理溫度可以低至80℃、50℃以下,低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

    (B)處理全程無(wú)污染

    等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備,不產(chǎn)生任何污染,處理過(guò)程也不產(chǎn)生任何污染。

    (C)處理效果穩定

    等離子清洗的處理效果非常均勻穩定,常規樣品處理后較長(cháng)時(shí)間內保持效果良好。

    (D)可以處理各種形狀的樣品

    對于復雜形狀的樣品,等離子清洗都能找到合適的解決方案。

    真空等離子清洗更可實(shí)現對固體樣品內部位置進(jìn)行清洗。
     

     



     

    (1.2)產(chǎn)品原理

    等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成控制系統、激勵電源系統、真空腔體、工藝氣體系統、以及真空泵系統。

     

    A)控制系統:

    控制系統的功能在于控制整個(gè)設備的運行,包括人機界面(觸摸屏)、PLC、電氣電路。采用全自動(dòng)控制系統的真空等離子清洗,可實(shí)現多種模式多種程序對清洗設備進(jìn)行控制,滿(mǎn)足不同客戶(hù)的需求。

    (B)激勵電源系統:

    激勵電源主要有三類(lèi):40KHz的中頻激勵電源,13.56MHz的射頻激勵電源,2.45GHz的微波激勵電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應用場(chǎng)合不同。

    (C)真空腔體:

    真空腔體主要是分為種材質(zhì)的:1)鋁合金腔體,2)不銹鋼真空腔體,3)石英腔體。根據用戶(hù)的不同需求,可實(shí)現不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。
     

    (D)工藝氣體系統:SPV100真空等離子清洗機

    工藝氣體包括流量計、氣壓閥等,用戶(hù)可靈活選擇多路的工藝氣體方案,氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等,可滿(mǎn)足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。

    (E)真空泵:

    真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵,油泵主要采用雙級旋片泵,根據用戶(hù)所采用的腔體體積、工作效率、環(huán)境要求來(lái)制定真空泵的方案。
     

    (1.3)晟鼎簡(jiǎn)介

    晟鼎精密,致力于為用戶(hù)提供表面性能處理及檢測整體解決方案,自主研發(fā)生產(chǎn)及銷(xiāo)售等離子清洗設備、接觸角測量?jì)x、全自動(dòng)百格刀、表面潔凈度儀、達因筆等表面性能處理及檢測產(chǎn)品。公司由多年從事表面性能研究的團隊組成,立志發(fā)展民族工業(yè)品牌。堅守持續創(chuàng )新的宗旨,晟鼎精密通過(guò)不懈努力和過(guò)硬的產(chǎn)品品質(zhì),以及專(zhuān)業(yè)優(yōu)質(zhì)的服務(wù),已經(jīng)贏(yíng)得國內外廣大用戶(hù)的*認可。不但產(chǎn)品系列完善齊全,晟鼎精密還具有嚴格的產(chǎn)品生產(chǎn)標準,高精度的數控加工機床等精密生產(chǎn)設備、還有進(jìn)口的質(zhì)量檢測工具,以及科學(xué)規范的管理體系,確保提供給用戶(hù)的每一套產(chǎn)品都是精益求精。

    至今,晟鼎精密的產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應用汽車(chē)制造、手機制造、玻璃光學(xué)、材料科學(xué)、電子電路、印刷造紙、塑料薄膜、包裝技術(shù)、醫療科研、紡織工業(yè)、新能源技術(shù)、航天、手表首飾等等領(lǐng)域。晟鼎精密將繼續孜孜不倦,為“向提供性?xún)r(jià)比的表面性能處理及檢測整體解決方案”的奮斗目標而不懈努力!
     

    1. 技術(shù)規格

    (2.1)技術(shù)參數

    電源系統

    晟鼎定制射頻電源:頻率13.56MHz;功率0~600W可調;

    全自動(dòng)真空電容匹配器

    真空系統

    晟鼎定制雙級旋片泵(油泵):60m3/h

    可選配晟鼎定制羅茨泵250m3/h

    真空計:日本英??灯だ嵴婵沼?/span>

    真空管路:全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

    腔體系統

    (可定制)

    鋁合金真空腔體,級焊接密封,25mm厚度

    腔體內部尺寸:4545500mm寬×高×深

    電極板布置方式:水平布置,可活動(dòng)抽取

    工作托盤(pán):可選配

    空間層數:8層

    氣體系統

    氣壓閥,日本SMC

    流量計,七星華創(chuàng )品牌,0~300SCCM

    兩路工藝氣體:氬氣、氧氣

    (氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳可選)

    控制系統

    PLC,德國西門(mén)子S系列

    觸摸屏,威綸通,七寸屏幕

    電氣部件:德國施耐德品牌

    其它參數

    外形尺寸:891745×1000mm寬×高×深

    重量:400KG

    顏色:銀灰色


    (2.2)尺寸參數





     

    (3)性能優(yōu)勢

    (3.1)*電源:采用*高壓激勵電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果。

    (3.2)全面安全防護:溫度安全防護功能,過(guò)載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種誤操作保護功能。

    (3.3)*放電技術(shù):特殊處理及特殊結構的放電裝置,確保形成穩定均勻的等離子體。

    (3.4)密封性的真空腔體設計:級的高真空度真空腔體設計及制造工藝,配置進(jìn)口真空泵。

    (3.5)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:產(chǎn)品全部部件采用國內外優(yōu)質(zhì)部件,確保設備性能*

    (3.6)超低清洗溫度:滿(mǎn)足不同場(chǎng)合溫度要求,不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。

    (3.7)精密數控加工:進(jìn)口精密CNC數控機床加工工藝,并配備進(jìn)口三坐標測量?jì)x進(jìn)行質(zhì)量監控。

    (3.8)適用形狀復雜樣品:清洗各種復雜形狀的產(chǎn)品,包括內孔內壁,*均勻清洗






    (4)案例及定制











     






     

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