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    深圳市金徠技術(shù)有限公司


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    Wafer在線(xiàn)等離子清洗機

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    更新時(shí)間：2024-01-18 07:53:47瀏覽次數：228次

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    應用范圍：? LED，Wafer引線(xiàn)框架清洗活化 ? Silicon Wafer晶圓表面活化...? 粘片前進(jìn)行處理，提高芯片附著(zhù)力；? 鍵合前進(jìn)行處理，提高鍵合強度；? 塑模和封裝前進(jìn)行處理，減少封裝分層；? 硅晶片的表面有機物的清洗.

    詳細介紹

    Wafer在線(xiàn)等離子清洗機是一款針對從wafer制造的高效率光刻膠去除工藝到芯片封裝領(lǐng)域的在線(xiàn)式等離子清洗工藝 ，適用于wafer清洗及芯片封裝的多功能設備，滿(mǎn)足客戶(hù)需求。

    產(chǎn)品規格


    型號

    JL-IVM-010

    JL-IVM-011

    外形尺寸MM

    1600(L)*1000(W)*1700(H)MM

    1600(L)*800(W)*1400(H)MM

    腔尺寸 MM

    300(L)*500(W)*50(H)

    300(L)*120(W)*50(H)

    軌道數量

    雙軌八道

    單軌一道

    清洗效率

    600片每小時(shí)

    120片每小時(shí)

    等離子發(fā)生器

    13.56MHz，0~600W可調。

    13.56MHz，0~300W可調。

    真空度

    0.01~0.8Torr

    0.01~0.8Torr

    氣體通道

    2路，（O2/Ar/H2/CF4可選）

    2路，（O2/Ar/H2/CF4可選）

    產(chǎn)品尺寸(MM)

    長(cháng)140~280，寬30~80,可定制

    長(cháng)140~280，寬30~80,尺寸可定制

    冷卻方式

    風(fēng)冷

    風(fēng)冷

    真空泵

    無(wú)油泵

    無(wú)油泵

    針對產(chǎn)品

    集成電路/LED封裝

    集成電路/LED封裝


    功能應用
    ?     LED，Wafer引線(xiàn)框架清洗活化 

    ? Silicon Wafer晶圓表面活化...
    ? 粘片前進(jìn)行處理，提高芯片附著(zhù)力；
    ? 鍵合前進(jìn)行處理，提高鍵合強度；
    ? 塑模和封裝前進(jìn)行處理，減少封裝分層；
    ? 硅晶片的表面有機物的清洗.
    產(chǎn)品優(yōu)勢
     ?  針對LED，IC封裝工序設計。
     ?  配備自動(dòng)上片，傳輸，清洗，收片等功能。
     ?  高度自動(dòng)化作業(yè)，減少人員干預，降低二次污染風(fēng)險。
     ?  模塊化設計，組件更換靈活，切換產(chǎn)品快速。
     ?  采用13.56MHZ電源，清洗時(shí)間短，無(wú)濺射，溫度低。
     ?  運行過(guò)程實(shí)時(shí)監控，動(dòng)畫(huà)指示工作過(guò)程，一目了然。
     ?  設備操作權限分級管理，生產(chǎn)過(guò)程可管控。
     ?  故障報警可追索，有提示，快速排查故障部位，便于維護。


     


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