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    DPH系列氣動(dòng)隔膜閥

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    工作壓力:真空至300psig｜ 材質(zhì):316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~70℃

    詳細介紹

    產(chǎn)品介紹 

     

    DPH 系列氣動(dòng)隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低漏率，超長(cháng)使用壽命，穩定快速的側進(jìn)氣執行機 構；適用于超高純 度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿(mǎn)足超大規模集成電路的工藝氣體要求。

     

    主要部件材料

     

    閥體                       316L /316L（VIM+VAR）
    膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003
    密封墊                   PCTFE 

     

    工作條件

     

    工作壓力                真空至 300psig
    爆破壓力                3000psig
    流量系數                0.5 
    工作溫度                -10 ～ 70℃
    內漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
    外漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
    內表面粗糙度         Ra≤0.1μm

     

    產(chǎn)品特點(diǎn)

     

    適合超高純度氣體應用
    Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片
    快速、可重復執行的氣動(dòng)執行機構
    每臺閥門(mén)進(jìn)行單獨的氦質(zhì)譜檢測
    超長(cháng)使用壽命（400 萬(wàn)次實(shí)驗值）

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