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    首昂光電（上海）有限公司


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    晶圓打碼機

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    更新時(shí)間：2024-05-07 14:47:54瀏覽次數：183次

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    聯(lián)系人：黃經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    1）專(zhuān)業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專(zhuān)用設備，適用于4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標作業(yè)

    詳細介紹

    1）專(zhuān)業(yè)化的晶圓激光刻號打碼專(zhuān)用設備，適用于4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標作業(yè)。

    2）支持OCR字符和點(diǎn)陣字符，適用于Si,GaAs,Ge,SiC,GaP,InP,Sapphire,Quartz等的軟打標、硬打標。

    3)全自動(dòng)生產(chǎn)可加工2"- 6"、4"- 8"、8“- 12"晶圓；

    4)工業(yè)級激光器、穩定可靠、免維護；

    5)光束質(zhì)量好、標識精細、可讀性好；

    6)操作界面友好、使用方便、無(wú)需外接冷水機；

    7）自動(dòng)取放料，雙臂模式提高工作效率，自動(dòng)找晶圓中心，自動(dòng)巡邊。


    技術(shù)規格                     項目                    單位                  數值

    加工尺寸            晶圓尺寸                inch                6英寸

    激光器功率             激光器出口處             w                   20瓦

    激光器波長(cháng)           紅外光纖激光器           nm              1064納米


                                   定位精度                 mm                0.05毫米       

                                   重復精度                 mm                0.02毫米  

       振鏡                  掃描速度             mm/s            7000毫米/秒

                                  振鏡類(lèi)型             數字/模擬       高速數字式振鏡

    協(xié)作機械手              取料手臂                數量                    2個(gè)

                                   負載                  kg                    1千克

                                   臂長(cháng)                 mm                 340mm

                                   重復精度                 mm               正負0.5mm

                                   Z向行程                   mm                 145mm

                                   電源                         AC     兩相220~240V   50HZ

                                 耗電量                KW                   1.5kw

                                  單獨接地電阻             Ω                    小于4歐

                                  共用接地電阻             Ω                    小于1歐

    其他規格                 壓縮空氣供給壓力     MPa              0.5~0.8mpa

                                   廠(chǎng)務(wù)真空供給           KPa                  -0.6kpa

                                   排風(fēng)口口徑               mm                   50mm


    4-5-6英寸晶圓的軟打標、硬打標。

    適用于Si,GaAs,Ge,SiC,GaP,InP,Sapphire,Quartz等的刻號、打碼。


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