深圳創(chuàng )盛世科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-11-26 12:41:38瀏覽次數：88次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)UHV式光柵特性由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低殘余氣體分析(RGA)經(jīng)驗證不會(huì )污染真空環(huán)境120°C烘焙溫度非接觸開(kāi)放式光學(xué)系統提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零無(wú)氣密孔高精度直線(xiàn)光柵和圓光柵系列真正意義的位置測量RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線(xiàn)柵尺和圓光柵配用，實(shí)現位置測量
RESOLUTE光柵系列可與單碼道直線(xiàn)柵尺和圓光柵配用，實(shí)現位置測量。該光柵在通電后無(wú)需任何移動(dòng)便可立即獲取位置信息。
RESOLUTE光柵結合了的光學(xué)系統與創(chuàng )新的位置確定算法，能夠以達到1 nm的精細分辨率和高達100 m/s (36,000 rpm) 的速度實(shí)現位置測量。
RESOLUTE光柵系統可測量位置，其具有±40 nm的低電子細分誤差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪聲（抖動(dòng)），能夠實(shí)現平穩的速度控制性能和可靠的位置穩定性。
直線(xiàn)柵尺用于提供直線(xiàn)位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
圓光柵用于提供角度位置信息以及對旋轉元件進(jìn)行運動(dòng)控制。
圓弧柵尺可卷繞在圓柱體、軸或圓弧上，用于測量旋轉運動(dòng)的圓弧。
柵尺名稱(chēng) | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數 | 供應長(cháng)度 | 讀數頭兼容性 |
配有可選FASTRACK™的RTLA30  | ±5 µm/m | 30 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 達21 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
柵尺名稱(chēng) | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 供應長(cháng)度 | 讀數頭兼容性 |
RKLA-S  | ±5 μm/m | 30 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 達21 m | RESOLUTE |
柵尺名稱(chēng) | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數 | 供應長(cháng)度 | 讀數頭兼容性 |
RELA30  | 1 m內為±1 µm，1 m以上為±1 µm/m | 30 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 達1.5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
柵尺名稱(chēng) | 精度 | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數 | 供應長(cháng)度 | 讀數頭兼容性 |
RSLA30 | 1 m內為±1.5 µm，2 m內為±2.25 µm，3 m內為±3 µm，5 m內為±4 µm | 30 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 達5 m | RESOLUTE、RESOLUTE UHV、RESOLUTE FS |
柵尺名稱(chēng) | 精度 | 柵距 | 熱膨脹系數 | 供應長(cháng)度 | 讀數頭兼容性 |
RKLA-S  | ±5 μm/m | 30 µm | 使用端部蓋條將柵尺端部固定到基體后，柵尺的伸縮將與基體材料保持一致 | 達21 m | RESOLUTE |
柵尺名稱(chēng) | 刻劃精度（取決于圓光柵直徑） | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數 | 圓光柵直徑 | 讀數頭 兼容性 |
RESA30  | ±3.97至±0.38角秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至550 mm | RESOLUTE、 RESOLUTE UHV、 RESOLUTE ETR、 RESOLUTE FS |
柵尺名稱(chēng) | 安裝精度 （取決于圓柵直徑） | 柵距 | 20 °C時(shí)的熱膨脹系數 | 圓光柵直徑 | 讀數頭兼容性 |
REXA30  | （≥100 mm直徑） ±1角秒 ±1.5角秒 ±2角秒 | 30 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至417 mm | RESOLUTE、 RESOLUTE UHV、 RESOLUTE ETR、RESOLUTE FS |
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