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    RLD10角錐反射鏡干涉儀

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    角錐反射鏡干涉儀適合長(cháng)距離和高速應用

    詳細介紹

    角錐反射鏡干涉儀適合長(cháng)距離和高速應用。

    RLD10發(fā)射頭內含有干涉鏡組、的多通道條紋檢測系統、激光光閘和內置的激光準直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。

    特性與優(yōu)點(diǎn)

    • 多軸解決方案 — 單軸和雙軸角錐反射鏡系統為多軸應用提供理想解決方案。

    • 長(cháng)距離和高速度 — 角錐反射鏡干涉儀發(fā)射頭適合具有更長(cháng)距離和更高速度的應用,此時(shí)平面鏡干涉儀可能不適用。

    • 敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號,適合功耗要求低于標準RLD特定值(即 < 2 W)的應用。

    規格

    軸行程0 m至4 m
    分辨率(使用RLU配置)

    模擬正交 = λ/2 (316 nm)
    數字正交 = 20 nm
    RPI20分辨率 = 77.2 pm

    系統非線(xiàn)性誤差* (SDE)

    *不含接口

    低于100 mm/s且信號強度 > 70%時(shí) <±5 nm
    2 m/s且信號強度 > 50%時(shí) <±13 nm
    速度可達2 m/s

    對于長(cháng)度超過(guò)4 m的軸,請查看HS20激光尺系統,它支持長(cháng)達60 m的軸。

    對于非真空應用,為了維持變動(dòng)環(huán)境條件下的精度,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實(shí)時(shí)正交補償系統,用于對環(huán)境變化進(jìn)行補償。雷尼紹供應的角錐反射鏡可能不適于真空或接近真空的應用。

    RPI20并行接口集成到RLE系統中,可達到38.6皮米的分辨率(平面鏡配置)。對于具有數字輸出的增強分辨率,雷尼紹的REE系列細分盒能夠提供0.395 nm的分辨率(平面鏡配置)。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,并提供并行輸出格式。有關(guān)附件的詳細信息,請參見(jiàn)RCU10補償系統和激光尺接口。


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