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    HC-PL12等離子清洗機

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    桌上型微波等離子清洗機HC-PL12，采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統，特別適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)等領(lǐng)域的需求

    詳細介紹

  • 　　桌上型微波等離子清洗機HC-PL12，采用優(yōu)化的集成PLC工藝控制系統，特別適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)等領(lǐng)域的需求。

  • 拖拽右側下拉條可查看更多參數

    外形尺寸

    W880×H580×D720mm

    腔體內部尺寸

    W230×H230×D245mm

    微波功率

    2.45GHz，100-500W可調

    工藝氣路

    標準1路，包括質(zhì)量流量計和控制電磁閥等

    真空接口

    DN16KF

    電源

    380V，50/60Hz 3.3KW不含真空泵

    控制單元

    觸摸屏PLC控制

    真空規

    Pirani真空計

    主要應用

    半導體材料表面有機污染物去除和表面活性增強

  • 　　產(chǎn)品特點(diǎn)

    　　USB接口

    　　以太網(wǎng)接口

    　　遠程維護（VPN）

    　　微波源上裝/側裝

    　　易于操作的圖形化界面

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