深圳市潔美瑞凈化設備有限公司
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更新時(shí)間：2024-11-14 10:52:42瀏覽次數：67次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)微電子潔凈室概述 微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中廣泛應用了高精密制造設備，這使微電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的形式、構造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化。微電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房采用多功能組合式建筑形式日益增多，微電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及其制造設備的集成化、過(guò)程控制自動(dòng)......
?微電子潔凈室概述
微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中廣泛應用了高精密制造設備，這使微電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的形式、構造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化。微電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房采用多功能組合式建筑形式日益增多，微電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及其制造設備的集成化、過(guò)程控制自動(dòng)化水平日益提高，安全設施日益完善，生產(chǎn)過(guò)程所需的作業(yè)人員大大減少，這些都提高了微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的穩定性和安全可靠性，為生產(chǎn)環(huán)境創(chuàng )造了良好的條件。
微電子潔凈室結構：
FFU+BAR結構+高架地板，并設置回風(fēng)墻，頂部整個(gè)做為靜壓箱的設計。
微電子潔凈室潔凈度級別：
空氣潔凈度等級（N） | 大于或等于所標粒徑的粒子濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子） | |||||
0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | ||
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1 000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10 000 | 2 370 | 1 020 | 352 | 83 | |
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