北京普瑞億科科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-08-09 09:39:09瀏覽次數：140次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)Hprobe測試儀是磁場(chǎng)下晶圓級表征及測試的工具
Hprobe 測試儀是磁場(chǎng)下晶圓級表征及測試的工具。它采用自主研發(fā)的3D磁場(chǎng)發(fā)生器和的、可定制的、商業(yè)化硬件，為傳感器到MRAM等磁性器件，提供完整的測試解決方案，該工具符合晶圓自動(dòng)化測試的標準。
主要特點(diǎn)
技術(shù)說(shuō)明
磁性3D發(fā)生器
Hprobe 測試儀采用自主研發(fā)的3D磁場(chǎng)發(fā)生器，其中每個(gè)磁場(chǎng)的空間軸都是獨立驅動(dòng)。通過(guò)控制3個(gè)軸的磁場(chǎng)，用戶(hù)可實(shí)現任意方向磁場(chǎng)，同時(shí) 也可產(chǎn)生旋轉磁場(chǎng)。發(fā)生器提供所有的控制儀器、控制程序和校準工具。
3D磁性發(fā)生器位于探測器上，在晶圓上生成局部磁場(chǎng)，探針位于磁場(chǎng)發(fā)生器與晶圓之間。發(fā) 生器和探測器卡盤(pán)之間的標準z軸間距為 1mm，500µm 到 5mm 內可調。
校準
測試儀并沒(méi)有為所有可能的磁性配置提供詳盡的標準數據表。但用戶(hù)能夠自定義額外定制磁場(chǎng)類(lèi)型，校準相應的線(xiàn)圈電流以產(chǎn)生需要的場(chǎng)類(lèi)型。
校準包括：
§ 將理論磁場(chǎng)應用于待測器件
§ 沿三軸測量感興趣區域內的磁場(chǎng)測量數據用于補償和調整在晶圓測試期間施加的磁場(chǎng)。
校準測量用嵌入在探測器內的3D霍爾傳感器完成。
3D 校準傳感器特征
§ 角精度高
§ 靈敏度5V /特斯拉
§ 測量范圍2特斯拉
§ 差分輸出
§ 溫度靈敏度：<100 ppm/°
§ 在探頭上集成溫度傳感器用于溫度補償
晶圓探測器
Hprobe 測試儀是由工業(yè)標準的晶圓探測器構成，囊括100mm手動(dòng)探測器至300mm全自動(dòng)，適于生產(chǎn)的探測器。探測器通常包括：
§ 溫控卡盤(pán)（熱/冷）
§ 探針卡定位可視化操作
§ 晶圓裝填器
§ 單一晶圓承載器
§ 嵌入式校準傳感器
§ 破碎晶圓承載器（可選）
其他特定的HW/SW探針選項可根據客戶(hù)要求 定制。
探測器控制是通過(guò)我們的測試程序驅動(dòng)的，針對探測器功能提供的用戶(hù)訪(fǎng)問(wèn)權限。
源測量單元 (S M U )
§ 最小測量范圍 20mV
§ 最小量程 1nA
§ > 3,000 讀數/秒
§ 白噪聲 2mV rms
數字萬(wàn)用表（ DM M ）
§ 18位，最小測量范圍 100mV
§ 分辨率 10nV
§ 最小記錄時(shí)間 1µs
任意波形發(fā)生器（ AW G ）
§ 雙通道，帶寬 40MHz
§ 正弦波，方波與脈沖高達 30MHz
§ 斜率 & 三角波達 200kHz
§ 每個(gè)通道的任意波形 < 1Msample
§ 采樣率 250Msample/秒
脈沖發(fā)生器
§ 最小脈沖寬度 300 ps
§ 脈寬精度 10 ps
§ 上升/下降時(shí)間 < 70 ps (20%-80%)
§ 輸出幅度 10 mVpp~5 Vpp
§ 重復率 500 MHz/每通 道
§ 觸發(fā)到輸出晃動(dòng) < 35ps RMS
探針
Hprobe測試儀易拓展，用戶(hù)可使用工業(yè)用探針，也可以使用裝有DC和RF探針的顯微操縱器。的限制是磁場(chǎng)發(fā)生器和晶片之間的間隔在高磁場(chǎng)下必須保持盡可能的（<1mm）。
測試程序
測試程序包括用于滿(mǎn)足用戶(hù)需求的所有功能，從材料表征到產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，到生產(chǎn)轉化。它以三種模式運行：
§ 校準 - 設置磁場(chǎng)的配置和創(chuàng )建用戶(hù)定義模式 (見(jiàn)下圖)
§ 工程 - 運行預先實(shí)施的測試模式或創(chuàng )建并運行完整的自定義特性描述和測試程序。
§ 生產(chǎn) - 從工程模式中利用優(yōu)化時(shí)間來(lái)設置測試程序。
預先實(shí)施的測試模式包括（有或者無(wú)磁場(chǎng)）：
§ 開(kāi)放/短期測試
§ 交流/直流 電流-電壓，R-V 測試
§ 交流/直流擊穿電壓測試
§ 讀/寫(xiě)脈沖測試
§ 隧道磁阻
§ 誤碼率
§ 器件循環(huán)測試
§ （I，V，H）相圖
生產(chǎn)廠(chǎng)家：法國 Hprobe
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