上海晶禾電子科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-08-21 11:16:30瀏覽次數：79次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)特氣系統主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門(mén)等)、工藝過(guò)程控制(PLC自動(dòng)控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊
特氣系統主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門(mén)等)、工藝過(guò)程控制(PLC自動(dòng)控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊。
對于特殊氣體來(lái)講，氣體品種多，有毒有害氣體多，針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet) 內，再通過(guò)管路將氣體供應至現場(chǎng)附近的閥箱 (VMB, Valve Manifold Box) ，而后再進(jìn)入制程機臺的使用點(diǎn) (POU, Point of Use) ，于進(jìn)入機臺腔體之前，會(huì )有獨立的氣體控制盤(pán) (GB, Gas Box) 與制程控制模塊聯(lián)機，以質(zhì)流控制 器 (MFC, Mass Flow Controller) 進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，一般的惰性氣體則是以開(kāi)放式的氣瓶架 (Gas Rack) 與閥盤(pán) (VMP, Valve Manifold Panel) 進(jìn)行供應。
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