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    中量程氣體質(zhì)量流量計

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介T(mén)SK621系列中量程流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調節閥和放大電路組成

    詳細介紹

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    TSK621系列中量程流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調節閥和放大電路組成，它利用流動(dòng)的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導分布效應而制成，其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設定的信號進(jìn)行比較，用所得的差值去驅動(dòng)控制調節閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設定的流量相等。用以準確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學(xué)化工實(shí)驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動(dòng)力等各領(lǐng)域。

    技術(shù)特點(diǎn)

    1、采用熱式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。
    2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡(jiǎn)易。
    3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
    4、測量和控制的量程范圍大，滿(mǎn)量程可達300ln/min
    5、預熱時(shí)間短、零飄小、測量和控制精度高，適用于微小流量的測量和控制。
    6、可通過(guò)二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊，操作簡(jiǎn)單。

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