相確精密儀器（上海）有限公司
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滿(mǎn)足電子行業(yè)需求功能性為滿(mǎn)足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設計的附加功能以增強分析能力人性化簡(jiǎn)潔的顯微鏡設置使用戶(hù)調整和再調用系統配置變得更為輕松
滿(mǎn)足電子行業(yè)需求
功能性
為滿(mǎn)足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設計的附加功能以增強分析能力
人性化
簡(jiǎn)潔的顯微鏡設置使用戶(hù)調整和再調用系統配置變得更為輕松。
的成像技術(shù)
我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測。
模塊化
用戶(hù)可通過(guò)選擇適合其應用的模塊進(jìn)行系統定制。
的分析工具
MX63系列的各種觀(guān)察功能可生成清晰的圖像，讓用戶(hù)能夠對樣品進(jìn)行可靠的缺陷檢測。全新
照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶(hù)評估樣品和存檔檢測結
果提供更多選擇。
從不可見(jiàn)到可見(jiàn)：MIX觀(guān)察與采集
通過(guò)暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀(guān)察方法結合使用，MIX觀(guān)察技術(shù)能夠獲得特殊的觀(guān)察圖像。MIX觀(guān)察技術(shù)可讓用戶(hù)發(fā)現用傳統顯微鏡難以觀(guān)察的缺陷。暗場(chǎng)觀(guān)察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀(guān)察樣品的表面紋理。
輕松生成全景圖像:即時(shí)MIA 利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶(hù)移動(dòng)手動(dòng)載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺無(wú)需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識別生成全景圖像，讓用戶(hù)獲得更寬的視場(chǎng)。 | 生成全聚焦圖像:EFI 奧林巴斯Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸載物臺使用，可輕松生成結構可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內離線(xiàn)生成。 |
利用HDR采集明亮區域和暗光區域 利用的圖像處理技術(shù)，高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內調整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺(jué)品質(zhì)，從而有助于生成具有專(zhuān)業(yè)級的報告。 | |
從基本測量到高級分析
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門(mén)級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀(guān)的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成?？纱蠓瓤s減重復性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。
高效的報告創(chuàng )建
創(chuàng )建報告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測量還長(cháng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀(guān)的報告創(chuàng )建功能，能夠根據預先設定的模板多次創(chuàng )建專(zhuān)業(yè)復雜的報告。編輯非常簡(jiǎn)單，報告可導出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠對采集的圖像進(jìn)行數碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過(guò)電子郵件進(jìn)行數據傳遞更加方便。
獨立相機選項
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門(mén)級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀(guān)的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成?？纱蠓瓤s減重復性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套的獨立系統。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測量工作的同時(shí)讓實(shí)驗室空間得到充分利用。
直觀(guān)的顯微鏡控制：舒適且使用方便
顯微鏡設置操作簡(jiǎn)單，讓用戶(hù)調整和再調用系統配置更加輕松。
快速尋找焦點(diǎn)：聚焦輔助 在光程內插入聚焦輔助可以輕松無(wú)誤地實(shí)現諸如裸晶片之類(lèi)低對比度樣品的對焦。在焦平面上的網(wǎng)格對焦讓您的樣品對焦更加簡(jiǎn)單。 | 利用光強管理器和自動(dòng)孔徑控制實(shí)現快速觀(guān)察 對于常規顯微鏡，使用者每次觀(guān)察都需要調整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀(guān)察方法設定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調用的設置即可幫助使用者節省時(shí)間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。 |
人體工學(xué)設計實(shí)現更快、更舒適的操作 更換物鏡以及調整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過(guò)程中無(wú)須松開(kāi)對焦旋鈕或將頭從目鏡上移開(kāi)。
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為質(zhì)量檢驗提供精細的光學(xué)性能和數碼成像技術(shù)
奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測量精度的
一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。
的光學(xué)性能： 物鏡鏡頭的光學(xué)性能對于觀(guān)察圖像品質(zhì)和分析結論有著(zhù)直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可極大限度減小波陣面像差，從而獲得可靠的光學(xué)性能。 | 始終一致的色溫： MX63系列采用高強度白色LED光源進(jìn)行反射和透射照明。無(wú)論光強度如何，LED光源均可保持始終如一的色溫，從而實(shí)現可靠的圖像質(zhì)量和色彩復現。LED系統可提供非常適合材料科學(xué)應用的高效率、長(cháng)壽命照明。 |
精確測量：自動(dòng)校準 與數碼顯微鏡類(lèi)似，當使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)可實(shí)現自動(dòng)校準。自動(dòng)校準有助于消除校準過(guò)程中的人為偏差，保證了更可靠的測量。自動(dòng)校準采用的算法可根據多個(gè)測量點(diǎn)均值自動(dòng) | 清晰的圖像： 奧林巴斯Stream軟件具有解決圖像角落周邊陰影問(wèn)題的陰影校正功能。在配合強度閾值設置使用時(shí)，陰影校正可實(shí)現更加精確的分析。 |
| MX63 | MX63L | ||
| 光學(xué)系統 | UIS2光學(xué)系統(無(wú)限遠校正系統) | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED (帶有光強度控制器) 12伏100瓦鹵素燈, 100瓦汞燈 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/分光鏡組件手動(dòng)切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過(guò)手動(dòng)操作調整3位編碼分光鏡組件 內置電動(dòng)孔徑光闌（針對所有物鏡預設，暗場(chǎng)自動(dòng)打開(kāi)） 觀(guān)察模式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相襯（DIC）*1、簡(jiǎn)易偏光 *1、熒光 *1、紅外 *1 和MIX觀(guān)察（4個(gè)定向暗場(chǎng)）*2 *1選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀(guān)察配置 | |
| 透射光照明 | 透射光照明裝置：需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光鏡（NA 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（NA 0.6），孔徑光闌以及視場(chǎng)光闌 光源：LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素燈) 光導: LG-SF 觀(guān)察模式: 明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光 | ||
| 聚焦 | 行程：32毫米 每轉行程微調：100微米 最小分度: 1微米 用于粗調的上限限位器和扭矩調節 | ||
| 載荷重量(包括載物臺和支架) | 8公斤 | 15公斤 | |
| 觀(guān)察筒 | 寬視場(chǎng)(FN 22毫米) | 正像三目鏡筒：U-ETR4 正像、可調傾角三目鏡筒: U-TTR-2 倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀(guān)察) 倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 倒像可調傾角雙目鏡筒：U-TBI30 | |
| 超寬視場(chǎng)(FN 26.5毫米) | 正像可調傾角三目鏡筒：MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 或 0 : 99%) 正像可調傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 或 20% : 80%) 倒像三目鏡筒: U-SWTR-3 | ||
| 電動(dòng)物鏡轉換器 | 明場(chǎng) 明場(chǎng)和暗場(chǎng) | ||
| 載物臺 (X × Y) | 帶內置離合驅動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC8R 帶內置離合驅動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC6R2 | 帶內置離合驅動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程: 356 x 305毫米 透射光照射區域：356 x 284毫米 | |
| 重量 | 約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤) | 約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤) | |
MX63系列可用于各種反射光顯微鏡應用。此類(lèi)應用可作為該系統在工業(yè)檢測應用上的一些示例。
電極部件的紅外圖像
紅外（IR）可用于檢查集成電路芯片和其他玻璃基硅制造器件的內部缺陷。
薄膜（左：明場(chǎng) / 右：偏光）
偏光可用于顯示材料的紋理和晶體樣貌。其非常適合檢測晶片和LCD結構。
硬盤(pán)
（左：明場(chǎng) / 右：DIC)
微分干涉差(DIC)用于幫助觀(guān)察具有細微高度差異的樣品。該技術(shù)非常適合用于檢測諸如磁頭、硬盤(pán)介質(zhì)、以及拋光晶片等具有極小高度差的樣品。
半導體晶圓上的集成電路圖形
（左：暗場(chǎng) / 右：MIX（明場(chǎng) + 暗場(chǎng)）
暗場(chǎng)是檢測標本上細微劃痕或缺陷以及晶片等鏡面樣品的理想工具。MIX照明可讓使用者即可觀(guān)察圖形也可觀(guān)察色彩。
半導體晶片上的光致抗蝕劑殘留物
（左：熒光 / 右: MIX（熒光 + 暗場(chǎng)）
熒光觀(guān)察適用于使用專(zhuān)用濾色片立方照明時(shí)能夠發(fā)光的樣品。其可用于檢測污染物和光致抗蝕劑殘留物。MIX照明可實(shí)現光致抗蝕劑殘留和集成電路圖形的觀(guān)察。
LCD濾光片
（左：透射光 / 右：MIX (透射光 + 明場(chǎng)))
這種觀(guān)察技術(shù)非常適合諸如LCD、塑料以及玻璃材料等透明樣品。MIX照明可實(shí)現濾色片顏色和電路圖形的觀(guān)察。
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