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    線(xiàn)性磁控濺射鍍膜機

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    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地深圳市

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    更新時(shí)間:2024-09-05 10:08:56瀏覽次數:104次

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    經(jīng)營(yíng)模式:其他

    商鋪產(chǎn)品:54條

    所在地區:廣東深圳市

    聯(lián)系人:瞿經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    立式線(xiàn)性連續磁控濺射適用于大尺寸基板產(chǎn)品的研發(fā)及生產(chǎn),設備由進(jìn)樣室,濺鍍室,出樣室和基片傳遞機構組成,可實(shí)現連續鍍膜,廣泛應用于顯示器件及光伏電池薄膜的開(kāi)發(fā)及生產(chǎn)

    詳細介紹

    立式線(xiàn)性連續磁控濺射適用于大尺寸基板產(chǎn)品的研發(fā)及生產(chǎn),設備由進(jìn)樣室,濺鍍室,出樣室和基片傳遞機構組成,可實(shí)現連續鍍膜,廣泛應用于顯示器件及光伏電池薄膜的開(kāi)發(fā)及生產(chǎn)。矽基具備豐富的工業(yè)級大尺寸設備生產(chǎn)經(jīng)驗,目前在廣東及北京地區均有線(xiàn)性連續磁控濺射設備銷(xiāo)售實(shí)績(jì)。


    技術(shù)參數:

    1 本底真空10-7 Torr;

    2 基片尺寸:490x390 mm (玻璃基片);

    3 基片直立傳送,傳送速度可調節;

    4 基片可加熱至400℃;

    5 濺鍍室數量可自由拓展;

    6 20英寸基片內鍍膜均勻性?xún)?yōu)于 ±3%;




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