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    多工位磁控濺射鍍膜機

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地深圳市

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    更新時(shí)間：2024-09-05 10:11:06瀏覽次數：116次

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    經(jīng)營(yíng)模式：其他

    商鋪產(chǎn)品：54條

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    聯(lián)系人：瞿經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    多工位磁控濺射鍍膜機可同時(shí)放置多片基片，適應研發(fā)線(xiàn)或中試線(xiàn)的小批量生產(chǎn)

    詳細介紹

    多工位磁控濺射鍍膜機可同時(shí)放置多片基片，適應研發(fā)線(xiàn)或中試線(xiàn)的小批量生產(chǎn)。矽碁提供的可公轉基片載臺方便客戶(hù)靈活調整各基片對應不同靶位。預裝矽碁自主研發(fā)的工業(yè)級全自動(dòng)控制系統，設備可按預設工藝流程進(jìn)行自動(dòng)生產(chǎn)。工藝重復性?xún)?yōu)于 ±3%，有效保證生產(chǎn)穩定性。


    技術(shù)參數：

    1 本底真空10-7 Torr；

    2 多基片設計，數量、尺寸可定制；

    3 基片臺可公轉、自轉并加熱：300℃/500℃/800℃；

    4 最多可拓展6支磁控濺射靶槍?zhuān)?個(gè)工位；

    5 靶槍濺鍍距離可調，可升級強磁靶；

    6 防交叉污染遮板設計；

    7 可配備樣品預清洗功能；

    8 可配備快速進(jìn)樣室；

    9 可配備自動(dòng)壓力控制系統；


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