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    深圳海創(chuàng )德科技有限公司


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    超高真空磁控濺射鍍膜機

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    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地深圳市

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    更新時(shí)間：2024-09-05 10:12:16瀏覽次數：123次

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    所在地區：廣東深圳市

    聯(lián)系人：瞿經(jīng)理

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件，本底真空可達到10-9~10-10Torr量級

    詳細介紹

    矽碁超高真空磁控濺射鍍膜機采用國際UHV配件及金屬密封件，本底真空可達到10-9 ~ 10-10 Torr量級。在超高真空環(huán)境下制備出的薄膜材料含氧量低、晶粒性更為明顯，廣泛適用于超導結、量子器件和自旋電子學(xué)的研究開(kāi)發(fā)。


    技術(shù)參數：

    1 本底真空可達10-9 ~ 10-10 Torr；

    2 單基片設計，尺寸可定制；

    3 基片可旋轉并加熱：300℃/500℃/800℃；

    4 最多可拓展8支磁控濺射靶槍?zhuān)矠R射；

    5 靶槍角度可調，濺鍍距離可調，可升級強磁靶；

    6 防交叉污染隔板設計；

    7 可配備離子束輔助沉積；

    8 可配備樣品預清洗功能；

    9 可配備快速進(jìn)樣室；

    10 可配備自動(dòng)壓力控制系統；


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