南京皓而普分析設備有限公司
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更新時(shí)間：2024-09-10 09:42:15瀏覽次數：144次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Massgasflowcontroller（meter））縮寫(xiě)為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設備
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller（meter））縮寫(xiě)為MFC(MFM)）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設備。
S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)特點(diǎn)：
*采用主體不銹鋼（316L）結構，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四氟乙烯等
*適用于各種腐蝕性氣體
*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準
*高精度
*重復性好
*響應速度快、軟啟動(dòng)、穩定可靠
*低壓降
*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安裝
*便于與計算機連接實(shí)現自動(dòng)控制。
S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應用領(lǐng)域：
*半導體制造行業(yè)的氣體流量控制
*分析儀器設備的氣體計量與控制
*各種形式的真空鍍膜設備
*環(huán)境檢測與分析設備
*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監測和控制
*特種材料表面處理裝置與燃燒控制
*混氣配氣系統和泄漏探測系統等
2．S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)型號
本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94以及SJ37所規定的通用技術(shù)條件及命名方法。
質(zhì)量流量計主要精確測量氣體流量，質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能還具備自動(dòng)控制氣體流量的功能。
型式批準證書(shū):2011F215-11
執行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標準
許可證編號：京制號
3．主要技術(shù)指標
質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠(chǎng)通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量的單位規定為: 標準狀態(tài)mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)L/min （升/分鐘） (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)規定為:溫度 --- 0℃
氣壓 — 101325 Pa
F.S (Full Scale):表示滿(mǎn)量程值
表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標
| 編號 | 項目 | S49 33/MT | ||
| 1 | 流量規格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
| 2 | 調節閥類(lèi)型 | 電磁調節閥 | ||
| 3 | 調節閥靜止位置 | 常閉 | ||
| 4 | 準確度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
| 5 | 線(xiàn)性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
| 6 | 重復精度 | ±0.2 %F.S | ||
| 7 | 響應時(shí)間 | ≤8 s（T95） | ||
| 8 | 工作壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
| 9 | 耐壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
| 10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
| 11 | 材料 | 不銹鋼316L | ||
| 12 | 標準密封材料 | Viton?﹑EPDM, 或其他 | ||
| 13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
| 14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
| 15 | 輸入輸出信號 | 0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | ||
| 16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
| 17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
| 18 | 重量 kg | 1.2 | ||
注意： S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍，供用戶(hù)選擇，也可根據用戶(hù)提出流量定制。
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