南京皓而普分析設備有限公司
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更新時(shí)間:2024-09-10 09:44:45瀏覽次數:116次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測
GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。該產(chǎn)品以GC-9860氣相色譜儀為載體,配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化(PDHID)檢測器;采用公司擁有專(zhuān)業(yè)技術(shù)的四閥五柱的中心切割與反吹技術(shù),其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃保護氣路的六通或十通閥;上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析解決方案。
高純氣體的分析是一個(gè)復雜的過(guò)程,不僅需要高靈敏的檢測器,還要考慮樣品本身的特性及其背景,如吸附、取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入、系統的密閉性、系統的死體積等環(huán)節,公司總結了高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)難點(diǎn),并給出了所有難點(diǎn)的解決措施,使GC-9860-PDHID氦離子化氣相色譜儀成為國內的高純氣體分析系統,很好的完成了氣體中微量雜質(zhì),特別是ppb級的雜質(zhì)的分析。
產(chǎn)品的特點(diǎn)與技術(shù)要求:
1.氣體行業(yè)專(zhuān)業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
2.采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
3.應用氣體分離專(zhuān)用色譜柱分離預切再分離技術(shù)
4.采用本公司技術(shù)的可分離與嵌入式單體控溫柱爐
5.工藝流程采用多路精密零死體專(zhuān)用閥控制多維色譜分離柱流量
6.分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專(zhuān)用鍍金接頭
7.核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器
8.成套專(zhuān)業(yè)化的數字與全中文反控氣相色譜儀
中心切割與反吹系統
GC-9860-5CPDHID氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統,該系統由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜柱聯(lián)合組成,通過(guò)工作站設置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過(guò)程,完成包括高純氮、高純氫、高純氧、
高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測:
VALCO吹掃型十通閥
GC-9860-PDHID氦離子化氣相色譜儀所配備的均為VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
杜絕氧吸附
氣體全分析流程:四閥五柱
HP-2氦氣純化器:
可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等
殘留濃度:≤10ppb
外置式單氣路恒溫柱箱
◆單氣路,箱爐可獨立控溫與恒溫;
◆加熱塊與柱爐體采用可分離與嵌入式技術(shù);安裝與拆卸實(shí)用方便;
◆爐體與外箱盒設計分體, 安裝色譜柱, 分離與嵌入加熱塊,填裝保溫棉材等都人性化設計.
VALCO脈沖氦離子檢測器
◆PDHID是利用氦中穩定的,低功率脈沖放電作電離源,使被測組分電離產(chǎn)生信號。
PDHID是非放射性檢測器,對所有物質(zhì)均有高靈敏度的正響應。
◆非放射性檢測器,使用安全
◆檢測靈敏度,氣體中雜質(zhì)的最小檢測濃度達5ppb
Valco PDHID氦離子化檢測器對6種雜質(zhì)的檢測限(ppb) | ||||||
雜質(zhì)種類(lèi) | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 |
檢測限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 |
1. 如高純N2通過(guò)程序設定,樣品通過(guò)閥1定量管定量進(jìn)入預柱1/8"*2mHayesepQ 1,預柱很好的把O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO組分預分離,待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流出預柱,自動(dòng)切換閥1。CO2直接通過(guò)閥1放空.
2. 閥3一開(kāi)始是1-4相同,當O2從分子篩柱流出后進(jìn)入閥3后,進(jìn)入后面的分析篩,閥3切換,H2、02直接進(jìn)入后面的分子篩繼續分離,通過(guò)閥4進(jìn)入檢測器檢測。此時(shí)閥3處于放空狀態(tài),放掉大部分的氮氣,當CH4即將流出前面分子篩,閥3再次切換, CH4與氮氣的混合氣體進(jìn)入后面的分子篩繼續分離,通過(guò)閥4進(jìn)入檢測器進(jìn)行檢測。當CH4流出前面分子篩后,閥3再次切割為放空狀態(tài),繼續放掉氮氣。
3. 當CO即將流出分子篩,閥3再次切換,CO通過(guò)閥3進(jìn)入后面的分子篩繼續分離,進(jìn)入檢測器檢測。當CO從前面分子篩流出后,閥3再次切換,處于放空狀態(tài)。
4. 閥2是用來(lái)分析CO2的,當樣品從定量環(huán)中帶入預柱中,一開(kāi)始閥2是處于放空狀態(tài),待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流出排空后,閥2切換,把CO2反吹進(jìn)檢測器進(jìn)行分析。
標準樣品譜圖
高純氫氣樣品譜圖
高純氮氣
高純Ar
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