湖南勝銘科技有限公司
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更新時(shí)間:2024-10-14 09:24:14瀏覽次數:88次
聯(lián)系我時(shí),請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)奧林巴斯3D激光共聚焦顯微鏡LEXTOLS5000奧林巴斯OLS50003D測量激光共聚焦顯微鏡采用了高級光學(xué)系統,可通過(guò)非破壞觀(guān)察生成高畫(huà)質(zhì)的圖像進(jìn)行精確的3D測量、符合ISO標準的表面粗糙度測量等,其準備工作也非常簡(jiǎn)單且無(wú)需對樣品進(jìn)行預先處理
奧林巴斯3D激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS5000
奧林巴斯OLS5000 3D測量激光共聚焦顯微鏡采用了高級光學(xué)系統,可通過(guò)非破壞觀(guān)察生成高畫(huà)質(zhì)的圖像進(jìn)行精確的3D測量、符合ISO標準的表面粗糙度測量等,其準備工作也非常簡(jiǎn)單且無(wú)需對樣品進(jìn)行預先處理。
LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(彩色成像光學(xué)系統和激光共焦光學(xué)系統)讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價(jià)值:
· 捕捉任意表面形狀。
· 快速獲得可靠數據。
· 使用簡(jiǎn)單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
· 測量具有挑戰性的樣品。
價(jià)值1:捕捉任意表面形狀。
OLS5000顯微鏡的技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。
價(jià)值2、快速獲得可靠數據
該顯微鏡的掃描算法既可提高數據質(zhì)量又可提高速度,從而縮短您的掃描時(shí)間,簡(jiǎn)化您的工作流程,zui終實(shí)現生產(chǎn)力的提升。
價(jià)值3、使用簡(jiǎn)單,只需放置樣品并按一下按鈕即可
LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數據采集功能,因而無(wú)需進(jìn)行復雜的設置調整。 甚至生疏的用戶(hù)也可以獲得準確的檢測結果。
價(jià)值4、可測量具有挑戰性的樣品
低輸出、非接觸式無(wú)損激光測量意味著(zhù)不需要樣品制備??梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴展架可容納高達210毫米的樣品,而超長(cháng)工作距離物鏡能夠測量深度可達25毫米的凹坑。在測量這兩類(lèi)樣品時(shí),您只需將樣品放在載物臺上即可。
[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。
[405納米激光光源]
光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著(zhù)波長(cháng)的減小而獲得提升。采用短波長(cháng)激光的激光顯微鏡相比采用可見(jiàn)光(峰值550納米)的傳統顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(cháng)激光二極管獲得的橫向分辨率。
[激光共焦光學(xué)系統]
激光共焦光學(xué)系統僅接收通過(guò)圓形針孔聚焦的光線(xiàn),并非采集從樣品上反射和散射的所有光線(xiàn)。這樣有助于消除模糊,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像
[X-Y掃描儀]
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合,能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置,因而能夠實(shí)現具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
[高度測量原理]
在測量高度時(shí),顯微鏡通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據非連續的焦點(diǎn)位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個(gè)像素的光強變化曲線(xiàn)(I-Z曲線(xiàn)),并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應,因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類(lèi)似,通過(guò)峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像(擴展圖像)。
主機規格:
型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | ||
總倍率 | 54x - 17,280x | ||||||
視場(chǎng)直徑 | 16 μm - 5,120 μm | ||||||
測量原理 | 光學(xué)系統 | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | |||||
光接收元件 | 激光:光電倍增管(2ch) | ||||||
高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 納米 | |||||
動(dòng)態(tài)范圍 | 16 位 | ||||||
可重復性 n-1 *1 *2 *6 | 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm | ||||||
精度 *1 *3 *6 | 測量值 +/- 1.5% | ||||||
拼接圖像精度 *1 *4 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(cháng)度 [μm]) | ||||||
測量噪聲(SQ 噪聲)*1 *5 *6 | 1 納米 | ||||||
寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 納米 | |||||
可重復性 3 n-1 *1 *6 | 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm | ||||||
精度 *1 *3 *6 | 測量值 +/- 1.5% | ||||||
拼接圖像精度 *1 *3 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(cháng)度 [μm]) | ||||||
單次測量時(shí)測量點(diǎn)的zui大數量 | 4096 x 4096 像素 | ||||||
測量點(diǎn)的zui大數量 | 3600 萬(wàn)像素 | ||||||
XY 載物臺配置 | 長(cháng)度測量模塊 | • | 無(wú) | 無(wú) | • | 無(wú) | |
工作范圍 | 100 x 100 mm 電動(dòng) | 100 x 100 mm 手動(dòng) | 300 x 300 mm 電動(dòng) | 100 x 100 mm 電動(dòng) | 100 x 100 mm 手動(dòng) | ||
zui大樣品高度 | 100 mm | 30 mm | 30 mm | 210 mm | 140 mm | ||
激光光源 | 波長(cháng) | 405 nm |
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zui大輸出 | 0.95 mW |
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激光分類(lèi) | 2 類(lèi) (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
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彩色光源 | 白光 LED | ||||||
電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | ||
質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 公斤 | 約 30 公斤 | 約 50 公斤 | 約 43 公斤 | 約 39 公斤 | |
控制器 | 約 12 公斤 | ||||||
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