鉑悅儀器（上海）有限公司
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產(chǎn)品型號MProbe UVVisSR
品 牌
廠(chǎng)商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時(shí)間：2024-10-30 13:50:20瀏覽次數：102次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)產(chǎn)品描述：MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。
MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類(lèi)金剛石炭)，聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
該機大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導體(硅，單晶硅，多晶硅)，半導體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂層(碳化硅，類(lèi)金剛石炭)，聚合物涂層(聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
測量范圍: 1 nm -50um
波長(cháng)范圍: 200 nm -1000 nm
MProbe UVVisSR薄膜測厚儀適用于實(shí)時(shí)在線(xiàn)測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過(guò)500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標：薄膜厚度，光學(xué)常數
界面友好強大: 一鍵式測量和分析。
實(shí)用的工具：曲線(xiàn)擬合和靈敏度分析，背景和變形校正，連接層和材料，多樣品測量，動(dòng)態(tài)測量和產(chǎn)線(xiàn)批量處理。
（MProble NIR薄膜測厚儀系統示 ）
案例1，73nm SiN氮化硅薄膜的測量
硅晶圓反射率，測量時(shí)間10ms
使用Tauc-Lorentz模型，測量SiN薄膜的n和k值
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