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    1600℃真空管式氣氛爐

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    產(chǎn)品型號HGK系列 真空管式氣氛爐（1600℃ ）

    品       牌

    廠(chǎng)商性質(zhì)其他

    所  在  地上海

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    更新時(shí)間：2024-11-29 12:00:09瀏覽次數：66次

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    經(jīng)營(yíng)模式：其他

    商鋪產(chǎn)品：84條

    所在地區：上海上海

    聯(lián)系人：姜玉海

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    HGK1600℃真空管式氣氛爐的詳細資料： 這款CVD系統集真空管式爐，多通道氣路系統和真空系統組成，可根據用戶(hù)需要設計生產(chǎn)（有雙溫區、三溫區、多溫區），可預抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）

    詳細介紹

    HGK1600℃真空管式氣氛爐的詳細資料：
    這款CVD系統集真空管式爐，多通道氣路系統和真空系統組成，可根據用戶(hù)需要設計生產(chǎn)（有雙溫區、三溫區、多溫區），可預抽真空（有高真空、低真空），通多種氣氛（供氣系統有質(zhì)子流量器和浮子流量控制器）。性能可靠?？刂齐娐愤x用模糊PID程控技術(shù)，具有控溫精度高，溫沖幅度小，性能可靠，簡(jiǎn)單易操作等特點(diǎn)。CVD生長(cháng)系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長(cháng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實(shí)驗。
    高真空管式爐
    爐管尺寸
    外徑Φ60×1000mm,Φ80×1000mm,Φ100×1000mm
    極限溫度
    1600 ℃
    工作溫度
    800 -1500 ℃
    溫度控制器
    PID自動(dòng)控制 晶閘管（可控硅）輸出功率， 50段可編程控制器
    升降溫速率
    1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min
    加熱區
    360mm
    恒溫區
    150mm
    溫度精度
    ±1 ℃
    電源
    單相220V,交流50Hz
    多通道流量計控制系統
    標準量程
    100，200 ，500，1000SCCM； （以氮氣標定，除以上標準外量程可選）
    準確度
    ±1.5%
    工作壓差范圍
    0.01～0.05 MPa
    壓力
    0.02MPa
    接頭類(lèi)型
    Φ6雙卡套不銹鋼接頭
    高真空系統
    泵體積流量N2
    33 L/S
    壓縮比
    10:11
    實(shí)驗真空值
    6.7*10-3Pa（8.0*10-4Pa）
    功率消耗
    140W
    啟動(dòng)時(shí)間
    2min
    電源要求：
    185-265VAC

    注：A代表可程式，本公司可定制各種CVD系統。

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