廣州威德瑪環(huán)境儀器有限公司
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更新時(shí)間：2024-12-04 13:01:20瀏覽次數：55次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來(lái)自 紡織服裝機械網(wǎng)本產(chǎn)品適用于材料及產(chǎn)品的應力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放
本產(chǎn)品適用于材料及產(chǎn)品的應力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放。在高溫環(huán)境中，半導體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮氣聯(lián)動(dòng)加以保護。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級甚至更高的潔凈度可保護這些材料不被污染。
潔凈度保證方式： 采用耐高溫高效過(guò)濾器， 過(guò)濾率0.3μm粒子99.97％以上。槽內空氣在強制送風(fēng)機的驅動(dòng)下，每一次循環(huán)都通過(guò)過(guò)濾器，槽內的顆粒逐漸的被過(guò)濾
氧濃度控制方式： 采用先抽真空后進(jìn)高純度N2置換槽內空氣。
為提高生產(chǎn)效率，開(kāi)始進(jìn)N2時(shí)，2路N2同時(shí)進(jìn)入槽內，氧濃度到達后，變?yōu)樾?/p>
流量維持，且進(jìn)N2與排N2平衡的方式，既把槽內的空氣、廢氣排走，又保證槽內是
一微正壓，防止環(huán)境空氣進(jìn)入。
氧濃度控制方式： 采用先抽真空后進(jìn)高純度N2置換槽內空氣。
為提高生產(chǎn)效率，開(kāi)始進(jìn)N2時(shí)，2路N2同時(shí)進(jìn)入槽內，氧濃度到達后，變?yōu)樾?/p>
流量維持，且進(jìn)N2與排N2平衡的方式，既把槽內的空氣、廢氣排走，又保證槽內是
一微正壓，防止環(huán)境空氣進(jìn)入。
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