深圳市汐品科技有限公司
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標配日立生產(chǎn)的照射系統球差校正器(附自動(dòng)校正功能)搭載具有高輝度、高穩定性的冷場(chǎng)FE電子槍鏡體和電源等的高穩定性使機體的性能大幅度提升觀(guān)察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀(guān)察原子分辨率SE圖像采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿支持高立體角EDX*的對稱(chēng)配置(對稱(chēng)Dual SDD*)采用全新構造的機體外殼蓋配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*
200 kV相差校正TEM/STEM,平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能
通過(guò)單極片實(shí)現0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
透射電子顯微鏡除了延續了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700"的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能,像差校正后的SEM圖像和對稱(chēng)Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。
對于包括用戶(hù)在內的廣泛用戶(hù),我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀(guān)察和分析方法。
※
附帶第二顯示器(可選),顯示屏為嵌入式合成界面。
標配日立生產(chǎn)的照射系統球差校正器(附自動(dòng)校正功能)
搭載具有高輝度、高穩定性的冷場(chǎng)FE電子槍
鏡體和電源等的高穩定性使機體的性能大幅度提升
觀(guān)察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀(guān)察原子分辨率SE圖像
采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對稱(chēng)配置(對稱(chēng)Dual SDD*)
采用全新構造的機體外殼蓋
配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*
項目 | 內容 | |
---|---|---|
電子源 | W(310)冷陰極場(chǎng)發(fā)射型 | |
加速電壓 | 200 kV、60 kV*1 | |
圖像分辨率 | STEM | 0.078 nm(ADF-STEM圖像) |
TEM | 0.102 nm(晶格像) | |
倍率 | STEM | ×20~×8,000,000 |
TEM | ×100~×1,500,000 | |
樣品微動(dòng) | 樣品臺 | 偏心測角儀(Eucentric Goniometer)5軸樣品臺 |
樣品尺寸 | 3 mm Φ | |
移動(dòng)范圍 | X, Y=±1.0 mm,Z=±0.4 mm | |
樣品傾斜 | α=±25°、β=±35°(日立2軸傾斜樣品桿*1) | |
像差校正器 | 配有日立照射系統球面像差校正器(標配) | |
圖像顯示 | PC | Windows® 7 *2 |
顯示器 | 27英寸寬屏液晶顯示器(機體控制顯示器、第二顯示器*1) | |
攝像頭 | 標配伸縮式攝像頭 屏幕攝像頭*1(用于熒光板觀(guān)察) |
項目 | 寬度×進(jìn)深×高度(mm) | 重量(kg) |
---|---|---|
鏡體(含電子槍?zhuān)?/th> | 1,060×1,742×2,970 | 1,940 |
機體外殼蓋 | 1,678×1,970×3,157 | 429 |
操作臺 | 1,400×819×740 | 132 |
擴展操作臺*1 | 580×819×740 | 53 |
FE槽 | 1,041×840×1,317 | 482 |
V0槽 | 398×630×1,046 | 164 |
控制電源 | 1,400×693×816 | 173 |
像差校正器電源 | 606×529×1,096 | 81 |
排氣系統電源 | 913×663×1,790 | 378 |
轉向系統電源 | 913×663×1,790 | 394 |
配重塊 | 280×130×130 | 23 |
Gatan控制器*1*3 | 576×648×1,173 | 150 |
冷卻水控制裝置 | 470×540×350 | 25 |
冷卻水循環(huán)裝置*1*3 | 970×970×1,064 | 95 |
干式泵*1 | 252×400×336 | 23 |
空壓機*1 | 275×560×576 | 25 |
項目 | 內容 | |
---|---|---|
室溫 | 15~23℃(溫度變化:0.2℃/h以?xún)龋?/td> | |
濕度 | 40~60% RH | |
電源 | 機體 | 單相AC200~240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA 斷路器容量 50 A |
冷卻水循環(huán)裝置*1*3 | 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A | |
接地 | D種接地(100 Ω以下) | |
冷卻水 | 水量 | 5.1~5.3 L/min 1系統、2.0~2.2 L/min 1系統 (水壓0.25 MPa) |
水溫 | 16~18℃(變動(dòng):±0.1℃以?xún)龋?/td> | |
氣體 | SF6 | 99.9%以上、180 k~200 kPa |
干氮 | 99.9%以上、0~100 kPa | |
壓縮空氣 | 600 k~800 kPa |
購買(mǎi)之前,請設置預定安裝處測量振動(dòng)、磁場(chǎng)和噪聲,如果超過(guò)容許值,請務(wù)必另行咨詢(xún)。
關(guān)于容許值,請另行咨詢(xún)。
備注
*1:選項。*2:Windows是在美國以及其他國家的注冊的美國Microsoft Corp.商標。*3:規格、尺寸均根據廠(chǎng)家、型號和配置的不同而會(huì )有所不同。
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