Helios 5 CX DualBeam 結合Thermo Scientific™AutoTEM5 ™軟件,實(shí)現全自動(dòng)原位 TEM 制樣。幫助不同經(jīng)驗水平用戶(hù)獲取質(zhì)量結果,制樣無(wú)需值守從而顯著(zhù)提高工作效率。使用Helios 5 CX DualBeam 系統和 AS&V4 軟件制備樣品表面用于三維數據采集。
產(chǎn)品特點(diǎn):
●小于10 nm 復雜結構的快速、準確、精確加工和沉積
●Tomahawk HT 離子鏡筒實(shí)現高質(zhì)量、定點(diǎn) TEM 和 APT 制樣
●高靈活度 110 mm 樣品臺和樣品倉 Nav-Cam 相機實(shí)現樣品處理和導航
●可選 AS&V4 軟件,精確定位感興趣區域,獲取質(zhì)量、多模態(tài)內部和三維信息
●集成化樣品清潔管理和專(zhuān)用的 DCFI 和 Thermo Scientific SmartScan™等模式實(shí)現無(wú)偽影成像
●可選 AutoTEM 5 軟件,實(shí)現、、全自動(dòng)、無(wú)人值守、多點(diǎn)原位和非原位TEM樣品制備和橫截面加工
●多達 6 個(gè)集成化鏡筒內及透鏡下探測器,采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無(wú)荷電圖像,
提供最完整的樣品信息
● Elstar 電子鏡筒搭載 SmartAlign 和 FLASH 技術(shù),可為任何經(jīng)驗水平的用戶(hù)在最短時(shí)間內獲取納米尺度信息