CEM3000系列國產(chǎn)掃描電子顯微鏡用于對樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測和分析。標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿(mǎn)足用戶(hù)對多類(lèi)型樣品的觀(guān)測需求,實(shí)現微觀(guān)的形貌和元素分析等。
不同于立式電鏡,CEM3000系列國產(chǎn)掃描電子顯微鏡無(wú)需占據大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶(hù)日常工作的桌面上,在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現所得結果。此外,該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車(chē)廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現出色的性能。
核心優(yōu)勢
1、緊湊靈活,突破空間限制
(1)臺式設計,體積小巧,輕松擺放在桌面或狹小空間(如手套箱、移動(dòng)實(shí)驗室),節省實(shí)驗室空間。
(2)支持快速移機,一臺設備滿(mǎn)足多場(chǎng)景需求,助力科研效率提升。
2、高性能,納米級分辨率
(1)空間分辨率優(yōu)于4nm(SE),支持高達200,000倍放大,精準捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀(guān)形貌。
(2)高襯度成像系統,快速掃描也能清晰呈現微弱信號,滿(mǎn)足材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的需求。
3、抗振防磁,穩定無(wú)懼挑戰
(1)特殊隔振設計(CEM3000B搭載復合抗振系統),消除環(huán)境振動(dòng)與電磁干擾,保障高倍成像質(zhì)量。
(2)適用于工業(yè)車(chē)間、車(chē)載實(shí)驗室等復雜環(huán)境,穩定可靠。
4、高效便捷,一鍵智能操作
(1)快速抽放氣技術(shù):低真空模式僅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分鐘,大幅縮短等待時(shí)間。
(2)自動(dòng)對焦、消像散、圖像增強功能,一鍵生成高質(zhì)量圖片,降低操作門(mén)檻。
5、靈活拓展,滿(mǎn)足多樣需求
(1)可選配低真空系統(5~100Pa),兼容導電/非導電樣品觀(guān)測。
(2)CEM3000系列桌面式掃描電子顯微鏡支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀,搭配顆粒統計、孔隙率測量等定制功能,滿(mǎn)足多領(lǐng)域分析需求。
應用場(chǎng)景
材料科學(xué):納米材料(如60nm銀線(xiàn))、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀(guān)結構分析。
新能源:太陽(yáng)能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫療:微流控芯片表面形貌觀(guān)測、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢:錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測。
機型選擇
CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專(zhuān)為振動(dòng)環(huán)境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定。
部分技術(shù)指標
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強 | |
選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動(dòng)軸 | X,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉、電子束旋轉) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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