中圖儀器CEM3000抗振防磁掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測和分析。不同于立式電鏡，CEM3000系列臺式掃描電鏡無(wú)需占據大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶(hù)日常工作的桌面上，在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現所得結果。此外，該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車(chē)廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現出色的性能。
CEM3000抗振防磁掃描電鏡可通過(guò)加裝各類(lèi)探頭和附件，滿(mǎn)足用戶(hù)的拓展性需求，這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應用。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率，滿(mǎn)足用戶(hù)觀(guān)測需求；
2.快速抽放氣，縮短等待時(shí)間；
3.高易用性
可快速成像，一鍵成片；
4.多種成像參數
滿(mǎn)足專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的調節需求；
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力；
6.可選配低真空模式，保證用戶(hù)能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進(jìn)而對不同類(lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí)，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
8.多探測器
可實(shí)現四分窗同時(shí)掃描成像。
性能特色
1、緊湊外型
該系列臺式掃描電鏡整機經(jīng)過(guò)深入優(yōu)化，在結構方面達到了優(yōu)尺寸利用率，確保其出色的性能不再受環(huán)境尺寸的制約，無(wú)論是日常的工作桌面、還是狹小空間，CEM3000系列臺式掃描電鏡總能陪伴用戶(hù)出現在有需要的地方。
2、自動(dòng)調節
用戶(hù)可借助自動(dòng)調節功能，無(wú)需過(guò)多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
3、高分辨率
CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學(xué)系統，優(yōu)于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數下的清晰成像，能夠滿(mǎn)足納米尺度的形貌觀(guān)測需求。
4、高抗振防磁性能
該系列臺式電鏡采用特殊設計的隔振措施，能夠減小環(huán)境中振動(dòng)對電鏡的干擾，并且全系列電鏡具有強抗電磁干擾性能，消除場(chǎng)地因素對電鏡的影響。
其中CEM3000B更是采用本公司設計的高性能復合抗振系統來(lái)消除外界振動(dòng)對電鏡的影響，即使是在高放大倍數下成像，用戶(hù)也不用擔心環(huán)境振動(dòng)對電鏡產(chǎn)生的干擾。
5、選配低真空系統
根據用戶(hù)需求，可選配低真空系統。該系統讓用戶(hù)可以任意設定電鏡工作時(shí)的倉內真空度(倉內真空度低可達100Pa)，以滿(mǎn)足不同類(lèi)型樣品的觀(guān)測需求。
6、操縱手柄
操作手柄上集成了多個(gè)方向位移控制，自動(dòng)調整及自動(dòng)對焦、自動(dòng)消像散等功能，可快速完成觀(guān)測位置調整及自動(dòng)成像。
7、豐富的定制功能
根據特定行業(yè)的需求，定制了自動(dòng)化的顆粒度統計、孔隙率測量等選配功能。
可根據用戶(hù)需求提供全自動(dòng)軟件定制服務(wù)。
8、高精度樣品臺
該系列臺式電鏡采用全新設計的樣品臺，各自動(dòng)軸均保證了動(dòng)作精度和高重復性。
9、高襯度成像系統
采集系統具有高信噪比，使用戶(hù)在快速掃描時(shí)也能獲取到充足的信號。即使針對微弱信號，CEM3000系列臺式電鏡搭載的處理算法亦可將信號從背底中進(jìn)行高效剝離，確保成像質(zhì)量。
應用領(lǐng)域
該電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時(shí)，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調節功能，能夠對不同類(lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測，具有高空間分辨率。
用戶(hù)可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時(shí)接收多種信號，對樣品進(jìn)行分析。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專(zhuān)為振動(dòng)環(huán)境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩定。
部分技術(shù)指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標配：自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動(dòng)軸 | X，Y，T |
手動(dòng)軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動(dòng)旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。
