東京精密輪廓儀SURFCOM CREST 系列
高穩定倍光路型激光干涉傳感器
應用東京精密的要素技術(shù)之一的光纖激光干涉測長(cháng)系統,開(kāi)發(fā)出分辨率0.31nm的高穩定倍光路型激光干涉傳感器并搭載在產(chǎn)品上。
動(dòng)態(tài)量程與分辨率之比高達42000000:1,一次跟蹤即可評價(jià)大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細表面形狀,是一款劃時(shí)代的產(chǎn)品。
在驅動(dòng)部搭載線(xiàn)性馬達
憑借線(xiàn)性馬達驅動(dòng),實(shí)現了高精度.高速移動(dòng)。
電子低振動(dòng)化穩定,可以實(shí)現高倍率測定。
只需一次測量即可進(jìn)行粗糙度儀和輪廓的分析
可在保持高精度的同時(shí)提高測量效率。
大量程
橫向200mm,縱向13mm,測量范圍大。
可在±45°自動(dòng)控制驅動(dòng)部?jì)A斜(SURFCOM CREST-T型號)