東京精密粗糙度儀SURFCOM NEX可以對應粗糙度測量、輪廓測量、粗糙度輪廓形狀綜合測量這三種功能，可以根據測量目的選擇相應的傳感器。而且使用的是線(xiàn)性驅動(dòng)，今天我們主要來(lái)說(shuō)說(shuō)東京精密nex必須使用線(xiàn)性驅動(dòng)的理由：
憑借線(xiàn)性驅動(dòng)部獲得令人吃驚的低振動(dòng)
無(wú)限提升傳感器的分辨率本身并非難事。然而，如果不重新審視傳感器的驅動(dòng)結構，只是不必要地提升傳感器單體的分辨率，那么就*沒(méi)有意義，這樣的規格也只是擺設而已。東京精密在在驅動(dòng)部搭載高精度線(xiàn)性馬達（已取得），同時(shí)根本性地達到結構上的“高精度極限點(diǎn)”，以動(dòng)態(tài)分辨率的創(chuàng )意實(shí)現了的實(shí)力提升。
非接觸驅動(dòng)的有效性
線(xiàn)性馬達也適合往復運動(dòng)，可準確定位并進(jìn)行高速測量。傳統的控制是組合了電機、編碼器、線(xiàn)性光柵尺的滾珠絲杠驅動(dòng)控制，因此特別是對于三維表面性狀評價(jià)等，由于準確定位造成往復運動(dòng)的控制響應性出現了極限。線(xiàn)性驅動(dòng)基本上是僅靠線(xiàn)性馬達和標尺的簡(jiǎn)單控制，因此可進(jìn)行高響應性高精度的定位。
對位
為了不損害線(xiàn)性馬達的超低振動(dòng)特性，安裝在X軸驅動(dòng)部的手動(dòng)進(jìn)給機構在實(shí)際測量時(shí)，自動(dòng)將手動(dòng)齒輪機構與線(xiàn)性測量機構的連接分離開(kāi)來(lái)。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。此外，在手持操作部，為了能夠在操縱桿操作以外切實(shí)操作微細的對位，布局了微動(dòng)進(jìn)給用JOG撥盤(pán)。
實(shí)現世界高水平的高速測量
線(xiàn)性驅動(dòng)部與無(wú)效運動(dòng)極少的以1/100秒為單位的聯(lián)合控制與啟動(dòng)響應相結合，實(shí)現了總測量時(shí)間的大長(cháng)縮短。進(jìn)行三維粗糙度測量時(shí)，測量時(shí)間為“傳統測量時(shí)間的1/10x測量線(xiàn)數”。如果測量時(shí)間短，室溫變化等的測量誤差要素的影響就小，這直接關(guān)系到測量結果的可靠性。
擁有溫度補正系統，使精度保證溫度范圍擴大到20℃±5℃
東京精密粗糙度儀SURFCOM NEX系列的驅動(dòng)部配備了標準溫度補正系統，使精度保證溫度范圍從原來(lái)的20℃±2℃擴大到了20℃±5℃.以往，因為溫度變化引起的熱脹冷縮會(huì )使X方向的指示精度受到影響，但是內置的溫度傳感器會(huì )根據實(shí)際的變化，自動(dòng)進(jìn)行補正。溫度的補正與否對傳感器的精度影響非常大，通過(guò)組合實(shí)現溫度補正時(shí)NEX系列*的功能。
免維護
日常不需要向驅動(dòng)機構加注潤滑脂、潤滑油。因為更改了驅動(dòng)支持導軌面的材質(zhì)和機構，對無(wú)給油進(jìn)行實(shí)證，實(shí)現了日常免維護。但是基于保證測量精度的觀(guān)點(diǎn)，我們推薦定期維護。
