GF80 / GF81系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表
提升價(jià)值驅動(dòng)型金屬密封應用的性能標準
對于許多工業(yè)和半導體加工過(guò)程,性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個(gè)特點(diǎn):設計采用與 GF100 系列響應速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù),該產(chǎn)品是性?xún)r(jià)比運營(yíng)的正確選擇。另外,金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來(lái)的優(yōu)勢,原因是可用氣體方面沒(méi)有限制并且由于不會(huì )發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度,同時(shí)還由于金屬密封件有效期相當長(cháng)而減少了維護工作量。
特點(diǎn)
- 長(cháng)期零點(diǎn)穩定性,每年變動(dòng)小于滿(mǎn)量程的 ± 0.5%
- 1 秒內穩定
- 滿(mǎn)量程流速高達 300 slpm
- 全金屬密封流路 – 16µ 英寸 Ra 表面處理
- 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作,適用于易發(fā)生熱分解的氣體
- 可編程 MultiFloTM 功能 – 一臺設備即可滿(mǎn)足數千種氣體類(lèi)型和各種量程組合的需求,無(wú)需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
- 通過(guò)有源溫度補償實(shí)現的溫度系數規范
- 內嵌式常規自檢功能和獨立的診斷/維護端口
- 帶有 VCR 配件的細線(xiàn)體設計
- DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口
優(yōu)勢
- 1 秒完成流量穩定,消除廢氣和過(guò)程變量影響
- 未采用會(huì )發(fā)生氧滲透并且使用一定時(shí)間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件
- MultiFloTM 精簡(jiǎn)了過(guò)程氣體切換操作 — 無(wú)需再拆除并重新校準 MFC
- 60 秒內即可完成新氣體和/或量程的設定操作
- 測量精度不受溫度變化影響
- 可輕松訪(fǎng)問(wèn)診斷端口以實(shí)現運行時(shí)間
- 規格緊湊,可輕松集成至緊張的設備空間內;設備改型的選擇
- 多協(xié)議通信接口可簡(jiǎn)化向現有系統的集成操作
應用
- 對翻新后的半導體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟高效的改型/升級
- 減少六英寸/八英寸半導體工廠(chǎng)的 MFC 庫存
- 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD
- 太陽(yáng)能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統
- 分析用 OEM 設備