9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表
提升高溫流量控制的準確性和效率
布魯克斯儀器 9861 系列高溫熱質(zhì)量流量控制器和儀表專(zhuān)為在高溫相關(guān)苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設計,該產(chǎn)品采用高純度、無(wú)泄漏一體化金屬流路,可確保兼容過(guò)程氣體和蒸汽。 IsoSensor™ 是一種穩定性的流量傳感器,可兼容加熱氣體管線(xiàn)和烘干系統中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的低漂移性能可使高溫應用無(wú)需頻繁重新調零和重新校準。
特點(diǎn)
- 穩定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器
- 高純度流路
- 遠程控制電子元件(標配兩個(gè)模擬電子連接器)
- 數字測量和控制架構
優(yōu)勢
- 傳感器穩定性高,可保障運行時(shí)間、減少維護工作并降低總體擁有成本
- 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
- 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器,可實(shí)現標準化并減少庫存
- 強化準確性和過(guò)程控制
應用
- 光纖制造 – MCVD
- 硅材料半導體器件加工工藝