產(chǎn)品描述:
AVI-600 series為緊湊型的主動(dòng)隔振系統,是納米技術(shù)大型儀器隔振的解決方案。對升級和整合到現有的需要低頻隔振功能的設備來(lái)說(shuō)是理想的選擇,主動(dòng)式減震臺-主動(dòng)式減振臺-主動(dòng)減震光學(xué)平臺-herz avi 600series可自由選擇整個(gè)系統的尺寸大小和配置,通過(guò)增加隔振模塊的數量可以增大系統的承重(承重可至9000磅)。
主動(dòng)式減振臺-主動(dòng)減震光學(xué)平臺-herz avi 600series廣泛用于蔡司ZEISS、萊卡Leica、日立HITACHI、日本電子JEOL等品牌的大型電子顯微隔振,以及半導體設備、大型、電子天平精密設備隔振。適用于各類(lèi)大型顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統防震臺,時(shí)頻系統防震臺,大型半導體設備防震臺,激光設備主動(dòng)防震!
工作原理:
AVI系列主動(dòng)隔振臺采用*的隔振技術(shù),適用于任何科研環(huán)境下,該隔振模塊可以隔離6個(gè)空間方向的振動(dòng)(包括水平方向和豎直方向),主動(dòng)式減震臺-主動(dòng)式減振臺-主動(dòng)減震光學(xué)平臺-herz avi 600series利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動(dòng)的壓力信號轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,方向相反的壓力信號來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統利用一個(gè)反饋回路消除隔振系統的機械共振。
產(chǎn)品特點(diǎn):
- 主動(dòng)隔振頻率1Hz – 200Hz
- 被動(dòng)隔振頻率>200Hz
- 5-20ms的響應時(shí)間
- 安裝簡(jiǎn)單,容易使用
- 穩定性高,能連續使用多年
- 緊湊、模塊化的多功能設計
- 控制器帶數字LED顯示屏
產(chǎn)品應用:
- SEM
- TEM
- UHV-SPM
- 光刻
- 隧道顯微鏡
- Fabry-Perot干涉儀
- 大型對振動(dòng)敏感的儀器設備
性能優(yōu)勢:
- 系統主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
- 六個(gè)空間方向的自由隔振
- 系統內部反饋回路抑制所有機械共振
- 低頻隔振性能優(yōu)秀
- 無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求
兼容性:
AVI-600 work station 主動(dòng)隔振臺可與LFS低頻穩定器配套使用來(lái)增強低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
技術(shù)參數(負載能力:1200kg):
隔振實(shí)例:
固潤光電針對高精密測試提供減震隔音消磁一體化解決方案,請根據鏈接了解我們的隔音箱和消磁器。