電子顯微鏡防震臺 table stable AVI-400XL為各類(lèi)透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡(AFM)、橫向力顯微鏡提供精密測試條件。主動(dòng)隔振頻率為 0.5Hz – 200Hz。
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL產(chǎn)品描述:
AVI系列電子顯微鏡防震臺是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統,可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類(lèi)似的大型研究?jì)x器提供業(yè)界的主動(dòng)隔振性能(從0.5 Hz開(kāi)始)。AVI系列主動(dòng)防振臺通過(guò)消除影響測量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲,幫助用戶(hù)從顯微鏡上獲得更多收益,并且平臺采用了低調的模塊化設計,無(wú)需為大多數儀器(包括大多數SEM)安裝所需的升降設備,從而簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程。
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL適用于各類(lèi)大型電子顯微鏡AEMSEMATMTEM,防震臺,輪廓儀防震臺,電子太平防震臺,超快激光系統防震臺,時(shí)頻系統防震臺,大型半導體設備防震臺,激光設備主動(dòng)防震!
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL工作原理:
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL使用電氣控制,通過(guò)對傳入振動(dòng)施加反方向的力來(lái)立即消除振動(dòng)。傳感器不斷監測振動(dòng),并基于該信息,執行器沿相反方向產(chǎn)生作用力,并繼續產(chǎn)生的振動(dòng)隔離狀態(tài)。主動(dòng)式隔振臺擅長(cháng)于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL采用*的隔振技術(shù),適用于任何研究情況下,可以隔離6個(gè)自由度方向上的振動(dòng),包括水平和垂直方向。電子顯微鏡防震臺AVI-400XL利用控制器內的壓電加速度傳感器來(lái)傳感外界傳入的振動(dòng),通過(guò)將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中,然后改換能器產(chǎn)生一個(gè)與傳入壓力大小相等,相位相反的壓力信號來(lái)消除傳入振動(dòng)。隔振系統利用一個(gè)反饋回路來(lái)消除隔振系統的機械共振??蔀閷?shí)驗室中對震動(dòng)敏感的設備如電鏡,光學(xué)器件等精密儀器隔離來(lái)自地面的震動(dòng),提供穩定的測試環(huán)
電子顯微鏡防震臺產(chǎn)品特點(diǎn): - 六個(gè)空間方向自由隔振(0.5Hz – 200Hz主動(dòng)隔振, >200Hz被動(dòng)隔振)
- 5-20ms響應時(shí)間
- 低頻隔振性能優(yōu)異,安裝和使用簡(jiǎn)單
- 系統主動(dòng)檢測輸入振動(dòng)并動(dòng)態(tài)消除
- 緊湊、模塊化的多功能設計
- 穩定性高,能連續使用多年
- 無(wú)低頻共振、無(wú)空氣要求
電子顯微鏡防震臺應用范圍:
- 超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM)
- 光刻工具
- 高精度計量工具
- 光譜儀器
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL技術(shù)參數:
- 型號:AVI-400XL/LP
- 系統配置:獨立減振裝置和控制裝置
- 主動(dòng)隔振范圍:大致為1.0 Hz – 200 Hz
- 被動(dòng)隔振范圍:大致為200 Hz以上
- 顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動(dòng)水平。
- LEDs 指示輸出階段的過(guò)載情況。
- 單元尺寸(每個(gè)):230 x 856 x 112.5 Hmm
- 控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
- 隔振單元重量: 24kg
- 負載能力:800 kg (同等/低重心)
- 輸入電壓: 90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz
- 功耗:通常18W
- 校正力:水平8N,垂直16N
- 系統噪音:0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz
- 靜態(tài)柔度:垂直約1.7 µm/N,水平約3.4 µm/N
- 溫度范圍:5℃ – 40℃
- 相對濕度:10 – 90 % (5 – 30 ℃)?10 – 60 % (30 – 40 ℃)
- 室內/室外使用:僅用于室內
table stable 電子顯微鏡防震臺AVI–400XL升級選項:
- 電子顯微鏡防震臺-主動(dòng)防振臺-減振臺AVI-400XL可與LFS低頻穩定器配套使用來(lái)增強低頻隔振效果,隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL隔振效果:
電子顯微鏡防震臺AVI–400XL性能對比圖:SEM 的研究人員在兩種條件下進(jìn)行成像: 不含隔振系統和包含AVI系列電鏡防震臺-主動(dòng)防振臺-減振臺。當使用電子顯微鏡防震臺AVI-400XL搭載SEM時(shí),所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。
為了提高客戶(hù)電子顯微鏡的成像質(zhì)量,我們也建議客戶(hù)配置AVI-400XL,同時(shí)增加電子顯微鏡隔音箱: