超純水設備

產(chǎn)品詳情:

超純水設備可以將水中的導電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水。設備產(chǎn)水電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。集成電路工業(yè)中超純水設備用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水設備產(chǎn)出的超純水。
依各種原水水質(zhì)和用戶(hù)要求的不同，超純水設備的工藝大體可分為預處理、脫鹽和精處理三步。
　　預處理 包括砂濾、多介質(zhì)過(guò)濾、軟化、加氯、調節pH、活性碳過(guò)濾、脫氣等。過(guò)濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調節pH可防止反滲透膜結垢，加氯是殺菌?；钚蕴歼^(guò)濾是除去有機物和自由氯，脫氣是清除溶于水中的CO2等。
　　脫鹽 包括反滲透、離子交換。反滲透是滲透現象的逆過(guò)程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側通過(guò)半透膜向稀溶液一側反向滲透，脫鹽可達98%，并能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。離子交換的原理是當水通過(guò)陽(yáng)離子交換樹(shù)脂時(shí)，水中的陽(yáng)離子被陽(yáng)離子交換樹(shù)脂吸附，樹(shù)脂上可交換的陽(yáng)離子如H離子被置換到水中，并和水中的陰離子結合成相應的無(wú)機酸，如超純水：
　　這種含有無(wú)機酸的水，當下一步通過(guò)陰離子交換樹(shù)脂層時(shí)，水中的陰離子被陰離子交換樹(shù)脂吸附。樹(shù)脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,并與水中的H離子結合成水，即超純水
　　精處理 包括紫外線(xiàn)殺菌、終端膜過(guò)濾和超濾。紫外線(xiàn)消毒器紫外線(xiàn)殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線(xiàn)光的能量而改變核酸自身結構,破壞核酸功能而使細菌死亡。殺菌的光譜波長(cháng)為2600埃。各種膜過(guò)濾能除掉直徑大于 0.2微米的顆粒，但對于清除有機物則不如反滲透和超濾有效。反滲透設備超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過(guò)程中，水在壓力下流過(guò)一個(gè)卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃范圍內,薄膜厚度為0.1～0.5微米,附在一個(gè)中孔的纖維棒內壁上，超濾能除去細菌和0.05微米的粒子。
電子工業(yè)超純水概述
　　 超純水設備廣泛應用于半導體、花式棉花糖集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路。集成電路的集成度越高，線(xiàn)寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。反滲透設備目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質(zhì)。電子工業(yè)超純水設備的應用領(lǐng)域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水；
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水；
3、實(shí)驗室和中試車(chē)間用超純水；
4、汽車(chē)、家電表面拋光處理；
5、光電子產(chǎn)品；
6、其他高科技精微產(chǎn)品；
7、超純材料和超純化學(xué)試劑
8、實(shí)驗室和中試車(chē)間