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產(chǎn)品名稱(chēng)：光學(xué)3D表面輪廓儀
- 光源：白光/綠光LED（單雙可選）
- 影像系統：1024×1024
- 干涉物鏡：2.5×，5×、10×、20×、50×、100×
- XY平臺移動(dòng)范圍：200mm×200mm
- 控制方式：電動(dòng)
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詳細信息
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SuperView W2光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、 結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析， 并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
SuperView W2光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、 汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面， 從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。
二、產(chǎn)品功能
1.一體化操作的測量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面，預先設置好配置參數再進(jìn)行測量，軟件自動(dòng)統計測量數據并提供數據報表導出功能， 即可快速實(shí)現批量測量功能。
2. 測量中提供自動(dòng)多區域測量功能、批量測量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化功能。
3.測量中提供拼接測量功能。
4. 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過(guò)濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖面等功能。
5.分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線(xiàn)粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線(xiàn)度、 圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波谷深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
6.分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動(dòng)測量和批量測量功能， 可實(shí)現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。
三、應用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、 彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
| 半導體制造（減薄粗糙度、鐳射槽道輪廓） | 光學(xué)元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度 | |
| （超精密）加工.輪廓尺寸&角度 | 表面工程（摩擦學(xué)）.輪廓面積&體積 | |
| 3C電子（玻璃屏）.粗糙度 | 標準塊.臺階高&粗糙度 | |
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附錄1.依據 ISO/ASME/EUR/GBT等國內外標準計算的2D，3D參數表：
2D參數表
| 標準名 | 參數 | |||
| ISO 4287-1997 |
| 主剖面 | 粗糙度 | 波紋度 |
| 振幅參數 | Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku | Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku | Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa, Wq,Wsk,Wku | |
| 間距參數 | PSm,Pdq | RSm,Rdq | WSm,Wdq | |
| 物料比參數 | Pmr,Pdc | Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4) | Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4) | |
| 峰值參數 | PPc | RPc | WPc | |
| ISO 13565 | ISO 13565-2 | Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk | ||
| ISO 12085 | 粗糙度圖形參數 | R,AR,R× ,Nr | ||
| 波紋度圖形參數 | W,AW,W×,Wte | |||
| 其他圖形參數 | Rke,Rpke,Rvke | |||
| AMSE B46.1 | 2D參數 | Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt | ||
| DIN EN ISO 4287-2010 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
| 粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr, | |||
| 波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
| JIS B0601-2013 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
| 粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
| 波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
| GBT 3505-2009 | 原始輪廓參數 | Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr, | ||
| 粗糙度參數 | Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr | |||
| 波紋度參數 | Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr | |||
3D參數表
| 標準名 | 參數 | |
| ISO 25178 | 高度參數 | Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa |
| 函數參數 | Smr,Smc,S×p | |
| 空間參數 | Sal,Str,Std | |
| 復合參數 | Sdq,Sdr | |
| 體積參數 | Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv | |
| 形態(tài)參數 | Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv | |
| 功能參數 | Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq | |
| ISO 12781 | 平面度參數 | FLTt,FLTp,FLTv,FLTq |
| EUR 15178N | 振幅參數 | Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St |
| 空間參數 | Str,Std,Sal | |
| 復合參數 | Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd | |
| 面積體積參數 | Smr,Sdc | |
| 函數參數 | Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq | |
| 功能性指標參數 | Sbi,Sci,Svi | |
| EUR 16145 EN | 振幅參數 | Sa，Sq，Sy，Sz，Ssk，Sku |
| 混合參數 | Ssc，Sdq，Sdr | |
| 功能性指標 | Sbi，Sci，Svi，Sk，Spk，Svk | |
| 空間參數 | Sds，Std，Stdi，Srw，Srwi | |
| 硬度參數 | Hs，Hvol，Hv，Hps，Hpvol，Hpv，Hap，Hbp | |
| ASME B46.1 | 3D參數 | St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt |
