布魯克bruker輪廓儀 利用的直接驅動(dòng)掃描樣品臺,將測量時(shí)間加快 40%,同時(shí)保持行業(yè)的性能。Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件,能夠更快地加載 3D 形貌文件,并更快地應用篩選器和多區域數據庫分析。
單拱門(mén)結構設計使 布魯克bruker輪廓儀 更堅固,從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT 升級的"智能電子設備"可降低溫度變化的影響,并采用現代處理器,大限度地減少噪聲水平,使其成為能夠測量<10nm 臺階高度的更強大的系統。
布魯克的 Vision64 軟件通過(guò)提供直觀(guān)、簡(jiǎn)化的用戶(hù)可視化界面,加入到 DektakXT 的創(chuàng )新設計。智能架構和可自定義自動(dòng)化功能相結合,可實(shí)現快速、全面的數據收集和分析。無(wú)論您是使用分析腳本對單個(gè)掃描結果進(jìn)行分析,還是應用自定義篩選器設置和計算,DektakXT 的數據分析器都能顯示當前分析結果,同時(shí)顯示其他可能的分析工具。
DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶(hù)快速輕松地更換不同探針,同時(shí)消除換針中的任何潛在風(fēng)險。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀,幾乎滿(mǎn)足任何應用需求。
DektakXT 能夠快速輕松地設置和運行自動(dòng)化的多樣品測量模式,以可重復性驗證整個(gè)晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監控可以通過(guò)提高測試通量來(lái)節省寶貴的時(shí)間和金錢(qián)。