The Hysitron PI 89 掃描電鏡聯(lián)用納米壓痕儀利用掃描電子顯微鏡(SEM、FIB/SEM)的成像能力,可以在成像的同時(shí)進(jìn)行定量納米力學(xué)測試。這套全新系統搭載 Bruker 的電容傳感技術(shù),繼承了市場(chǎng)的批商業(yè)化原位 SEM 納米力學(xué)平臺的優(yōu)良功能。該系統可實(shí)現包括納米壓痕、拉伸、微柱壓縮、微球壓縮、懸臂彎曲、斷裂、疲勞、動(dòng)態(tài)測試和力學(xué)性能成像等功能。
控制和性能
Hysitron PI 89的緊湊設計允許的樣品臺傾斜,以及測試時(shí)成像的最小工作距離。PI 89為研究者提供了比競爭產(chǎn)品更廣闊的適用性和性能:
- 重新設計的結構增加適用性和易用性
- 1 nm精度的線(xiàn)性編碼器實(shí)現更大范圍下更好的自動(dòng)測試定位重復性
- 更高的框架剛度(~0.9 x 106 N/m)提供測試過(guò)程更好的穩定性
- 兩種旋轉/傾斜模式實(shí)現城鄉、FIB加工、以及各種探測器的聯(lián)用,包括EDS, CBD, EBSD, and TKD等。